[发明专利]一种硅麦克风及其中的专用集成电路

权利要求书

1.一种硅麦克风专用集成电路，其特征在于，其包括电荷泵和偏置电压输出端，所述电荷泵的输出端与偏置电压输出端相连，

所述电荷泵包括第一升压电路、第二升压电路、第一二极管和第二二极管，

每个升压电路均包括N级依次串联的升压单元，每级升压单元都包括一个输入端、一个输出端、第一控制端和第二控制端，每个升压电路的相邻两级升压单元中的前一级升压单元的输出端与后一级升压单元的输入端相连，并且每个升压电路的第一级升压单元的输入端作为该升压电路的输入端与一基准电压相连，每个升压电路的第N级升压单元的输出端作为该升压电路的输出端，N为大于等于2的自然数；

第一升压电路的每级升压单元的第一控制端和第二升压电路的每级升压单元的第二控制端都与第一时钟信号相连，第一升压电路的每级升压单元的第二控制端和第二升压电路的每级升压单元的第一控制端都与第二时钟信号相连，

第一二极管的正极与第一升压电路的输出端相连，其负极与所述电荷泵的输出端相连；第二二极管的正极与第二升压电路的输出端相连，其负极与所述电荷泵的输出端相连。

2.根据权利要求1所述的硅麦克风专用集成电路，其特征在于，所述电荷泵还包括基准电压产生电路和时钟信号产生电路，

所述基准电压产生电路用于产生并输出所述基准电压；

所述时钟信号产生电路用于产生并输出第一时钟信号和第二时钟信号，其中第一时钟信号和第二时钟信号为不交叠时钟信号。

3.根据权利要求2所述的硅麦克风专用集成电路，其特征在于，每级升压单元还包括第三二极管、第四二极管、第一电容和第二电容，其中，第三二极管和第四二极管依次串联于该升压单元的输入端和输出端之间，第三二极管的正极与该升压单元的输入端相连，第四二极管的负极与该升压单元的输出端相连；第一电容连接于第三二极管和第四二极管之间的连接节点与第一控制端之间；第二电容连接于该升压单元的输出端与第二控制端之间。

4.根据权利要求3所述的硅麦克风专用集成电路，其特征在于，所述第一时钟信号和第二时钟信号为不交叠时钟信号为所述第一时钟信号的高电平和第二时钟信号的高电平相互交叠，所述第一时钟信号的低电平和第二时钟信号的低电平互不交叠。

5.根据权利要求4所述的硅麦克风专用集成电路，其特征在于，所述时钟信号产生电路包括振荡器和时钟信号产生模块，所述振荡器用于产生并输出一个方波信号；所述时钟信号产生模块包括输入端、第一输出端和第二输出端，其输入端与所述振荡器输出的高频方波信号相连，第一输出端输出所述第一时钟信号，第二输出端输出所述第二时钟信号。

6.根据权利要求5所述的硅麦克风专用集成电路，其特征在于，所述时钟信号产生模块包括非门、第一与非门、第二与非门、第一延时单元和第二延时单元，

第一与非门的一个输入端与所述时钟信号产生模块的输入端相连，其另一个输入端与所述时钟信号产生模块的第二输出端相连，其输出端与第一延时单元的输入端相连，第一延时单元的输出端与所述时钟信号产生模块的第一输出端相连；非门的输入端与所述时钟信号产生模块的输入端相连，其输出端与第二与非门的一个输入端相连，第二与非门的另一个输入端与所述时钟信号产生模块的第一输出端相连，第二与非门的输出端与第二延时单元的输入端相连，第二延时单元的输出端与所述时钟信号产生模块的第二输出端相连，

所述延时单元用于将其接收的信号延时后输出。

7.根据权利要求1所述的硅麦克风专用集成电路，其特征在于，其还包括连接于所述电荷泵输出端和所述偏置电压输出端之间的滤波器，所述滤波器包括第三电容，所述第三电容的一端与所述电荷泵输出端和所述偏置电压输出端相连，另一端接地。

8.根据权利要求7所述的硅麦克风专用集成电路，其特征在于，其还包括电压信号输入端、电压信号输出端和缓冲器，

所述缓冲器的输入端与所述电压信号输入端相连，其输出端与电压信号输出端相连，其用于将电压信号输入端接收到的电压信号传递给电压信号输出端。

9.一种硅麦克风，其特征在于，其包括一个微机电系统和如权利要求8所述的专用集成电路，

所述微机电系统用于将声音信号转换为电压信号，并将该电压信号提供给所述专用集成电路的电压信号输入端；

所述专用集成电路的偏置电压输出端输出偏置电压给所述微机电系统。

10.根据权利要求9所述的硅麦克风，其特征在于，所述微机电系统包括刚性极板和与刚性极板相对且相互间隔的弹性极板，

所述专用集成电路的电压信号输入端与所述弹性板相连，所述偏置电压输出端与所述刚性极板相连。