[发明专利]基于互电容测量原理的梳齿式柱面电容传感器有效
| 申请号： | 201310750794.9 | 申请日： | 2013-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN103743330A | 公开（公告）日： | 2014-04-23 |
| 发明（设计）人： | 相奎;王文;卢科青;张敏;陈子辰 | 申请（专利权）人： | 浙江大学;杭州电子科技大学 |
| 主分类号： | G01B7/00 | 分类号： | G01B7/00 |
| 代理公司： | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人： | 林怀禹 |
| 地址： | 310027 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 基于 电容 测量 原理 梳齿 柱面 传感器 | ||
【权利要求书】：
1.一种基于互电容测量原理的梳齿式柱面电容传感器，其特征在于：结构组成由外到内依次为传感器外壳（3）、绝缘基质层（4）和结构相同的四组互电容测量单元（5），三者同轴布置且轴向长度相等；位于绝缘基质层（4）内圆柱面的四组互电容测量单元（5），依次分布于四个象限内且沿X、Y轴相互对称，相邻互电容测量单元的圆周间距均为互电容测量单元圆周张角的1/2；每组互电容测量单元（5）均包括第一梳齿式电容极板（6）和第二梳齿式电容极板（7）；第一梳齿式电容极板（6）的N个弧形长条齿形电极（8）和第二梳齿式电容极板（7）的N个弧形长条齿形电极（9）相互交叉嵌入对方齿槽中，嵌入深度为l，齿形电极顶部距齿槽底部的距离为齿形电极的宽度w；相互交叉嵌入对方齿槽中的齿形电极位于每个齿槽的轴向中心线上，沿圆弧方向的齿槽宽度为齿形电极宽度w的3倍。
2.根据权利要求1所述的基于互电容测量原理的梳齿式柱面电容传感器，其特征在于：所述的互电容测量单元中任意一对相邻的长条齿形电极都构成互电容测量的基本配置，长条齿形电极的宽度w大于长条齿形电极的厚度t。
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