[发明专利]PVD设备冷泵再生控制方法及装置

权利要求书

1.一种PVD设备冷泵再生控制方法，其特征在于：

包括如下步骤：

S100：接收冷泵申请系统干泵的使用权的请求；

S200：在检测到所述冷泵可使用所述系统干泵后，关闭PVD设备腔室与所述冷泵之间的门阀，控制所述冷泵开始再生；

S300：监测所述冷泵的再生状态；

S400：当所述冷泵的再生状态进入降温步骤时，释放所述系统干泵的使用权，并在等待再生完成后结束再生操作，打开PVD设备腔室与所述冷泵之间的门阀。

2.根据权利要求1所述的PVD设备冷泵再生控制方法，其特征在于：

所述步骤S200中还包括关闭与所述系统干泵关联的所有抽气阀的步骤。

3.根据权利要求1所述的PVD设备冷泵再生控制方法，其特征在于：

所述冷泵的再生包括如下步骤：

S310：所述冷泵升温至室温；

S320：对所述冷泵进行循环吹扫；

S330：对所述冷泵进行压升率测试；

S340：所述冷泵开始降温。

4.根据权利要求1所述的PVD设备冷泵再生控制方法，其特征在于：

所述PVD设备冷泵再生控制方法还包括如下步骤：

S2001：当检测到所述冷泵不能使用所述系统干泵时，则返回等待。

5.根据权利要求4所述的PVD设备冷泵再生控制方法，其特征在于：

所述步骤S100还包括第一计时步骤，当接收到冷泵申请系统干泵使用权的请求时开始计时；

步骤S2001还包括判断步骤，当所述计时的第一计时时间大于预设申请时间时发出报警信号且控制所述冷泵结束再生操作。

6.根据权利要求1所述的PVD设备冷泵再生控制方法，其特征在于：

所述步骤S300还包括第二计时步骤，当所述冷泵开始再生时开始计时；

步骤S300之后还包括步骤S500：

步骤S500：当所述冷泵的再生计时的第二计时时间大于预设再生时间时，发送指令控制冷泵终止再生操作，所述冷泵释放所述系统干泵的使用权，并发出报警信号。

7.一种PVD设备冷泵再生控制装置，所述控制装置用于控制冷泵和系统干泵进行再生工艺，其特征在于：

所述控制装置包括申请接收模块，第一关闭模块，监测模块和释放模块；

所述申请接收模块，用于接收冷泵申请系统干泵的使用权的请求；

所述第一关闭模块，用于在检测到所述冷泵可使用所述系统干泵后，关闭PVD设备腔室与所述冷泵之间的门阀，控制所述冷泵开始再生；

所述监测模块，用于监测所述冷泵的再生状态；

所述释放模块，用于当所述冷泵的再生状态进入降温步骤时，释放所述系统干泵的使用权，并在等待再生完成后结束再生操作，打开PVD设备腔室与所述冷泵之间的门阀。

8.根据权利要求7所述的PVD设备冷泵再生控制装置，其特征在于：

所述申请接收模块还包括第二判断单元和第一计时单元；

所述第一计时单元用于对所述冷泵申请系统干泵的使用权的申请时间进行计时；

所述第二判断单元用于当所述计时的第一计时时间大于预设申请时间时发出报警信号，并控制所述冷泵结束再生操作。

9.根据权利要求7所述的PVD设备冷泵再生控制装置，其特征在于：

所述控制装置还包括第二关闭模块，所述第二关闭模块用于关闭与所述系统干泵关联的所有抽气阀。

10.根据权利要求7至9任意一项所述的PVD设备冷泵再生控制装置，其特征在于：

所述监测模块还包括第二计时单元和第三判断单元；

所述第二计时单元用于对所述冷泵的再生时间进行计时；

所述第三判断单元用于当所述冷泵的再生计时的第二计时时间大于预设再生时间时，发送指令控制冷泵结束再生操作，且所述冷泵释放所述系统干泵的使用权，并发出报警信号。