[发明专利]一种电感耦合型等离子处理器

权利要求书

1.一种电感耦合型等离子处理器，包括：

反应腔，基座，高频射频电源和电感线圈；

所述基座位于反应腔中，待处理基片固定在所述基座上；

反应腔顶部包括绝缘材料窗，所述电感线圈设置在反应腔外侧，通过所述绝缘材料窗将射频磁场传递入反应腔；

所述高频射频电源通过一个匹配电路连接到所述电感线圈输入端，电感线圈的输出端连接到接地端；

其特征在于，所述高频射频电源是可变频率电源，所述匹配电路和电感线圈输入端之间还包括第一平衡电路，所述电感线圈输出端和接地端之间还包括第二平衡电路，所述第一和第二平衡电路包括互相串联的电感和电容，所述第一和第二平衡电路用于在所述高频射频电源输出可变频率的情况下实现所述电感线圈的电压分布平衡；

所述高频射频电源的输出功率在高功率输出和低功率输出之间交替变化。

2.如权利要求1所述电感耦合型等离子处理器，其特征在于，所述第一平衡电路和第二平衡电路具有相同的阻抗。

3.如权利要求1所述电感耦合型等离子处理器，其特征在于，所述第一平衡电路包括一个输入电感连接到所述匹配电路输出端，一个输入电容连接在所述输入电感和所述电感线圈之间；所述第二平衡电路包括一个输出电感一端连接到接地端，另一端通过一个输出电容连接到所述电感线圈输出端。

4.如权利要求3所述电感耦合型等离子处理器，其特征在于，所述输入电容与输出电容具有相同的容值。

5.如权利要求3所述电感耦合型等离子处理器，其特征在于所述输入电感与输出电感为空气芯电感。

6.如权利要求1所述电感耦合型等离子处理器，其特征在于，所述基座通过一个第二匹配电路连接到一个低频射频电源。

7.如权利要求6所述电感耦合型等离子处理器，其特征在于，所述低频射频电源的输出功率在高功率输出和低功率输出之间交替变化。

8.如权利要求7所述电感耦合型等离子处理器，其特征在于，所述高频射频电源或者低频射频电源的输出频率也与输出功率同步的变化。

9.一种电感耦合型等离子处理器，包括：

反应腔，基座，高频射频电源和电感线圈；

所述基座位于反应腔中，待处理基片固定在所述基座上；

反应腔顶部包括绝缘材料窗，所述电感线圈设置在反应腔外侧，通过所述绝缘材料窗将射频磁场传递入反应腔；

所述高频射频电源通过一个匹配电路连接到所述电感线圈输入端，电感线圈的输出端连接到接地端；

其特征在于，所述高频射频电源是可变频率电源，所述匹配电路和电感线圈输入端之间还包括第一平衡电路，所述电感线圈输出端和接地端之间还包括第二平衡电路，所述第一或第二平衡电路中一个包括互相串联的电感和电容，另一个包括一个电容，所述第一或第二平衡电路用于在所述高频射频电源输出可变频率的情况下实现所述电感线圈的电压分布平衡；

所述高频射频电源的输出功率在高功率输出和低功率输出之间交替变化。

10.如权利要求9所述电感耦合型等离子处理器，其特征在于，所述第一平衡电路包括串联的电感和电容，第二平衡电路包括一个电容。