[发明专利]一种制备大面积太阳能电池片硅膜的微波等离子体装置

权利要求书

1.一种制备大面积太阳能电池片硅膜的微波等离子体装置，其特征在于，包括等功率狭缝板、反应腔、多路微波源和多路微波传输系统，所述反应腔的顶部设有石英玻璃板，所述石英玻璃板位于所述等功率狭缝板下方，多路微波源和多路微波传输系统并排设置在所述等功率狭缝板上方，所述反应腔内部设有电池片传动系统，所述微波源产生的微波通过微波传输系统后在等功率狭缝板下方的石英玻璃板下表面激发表面波等离子体，所述反应腔上设有抽真空接口和通工作气体接口。

2.根据权利要求1所述的制备大面积太阳能电池片硅膜的微波等离子体装置，其特征在于，所述微波传输系统包括环形器、水负载、三销钉螺栓匹配器和短路活塞，所述微波源产生的微波通过环形器、三销钉螺栓匹配器后进入溃入区域，在溃入区域，微波通过功率狭缝板的狭缝溃入到反应腔中，通过所述短路活塞调节微波的波形。

3.根据权利要求1所述的制备大面积太阳能电池片硅膜的微波等离子体装置，其特征在于，所述反应腔上设有观察窗口。

4.根据权利要求1所述的制备大面积太阳能电池片硅膜的微波等离子体装置，其特征在于，所述电池片传动系统的下方设有红外加热系统。

5.根据权利要求1所述的制备大面积太阳能电池片硅膜的微波等离子体装置，其特征在于，所述石英玻璃板通过橡胶密封圈与反应腔体密封连接，所述密封圈四周设有水冷系统。