[发明专利]一种制备大面积太阳能电池片硅膜的微波等离子体装置无效
申请号: | 201310752208.4 | 申请日: | 2013-12-31 |
公开(公告)号: | CN103741112A | 公开(公告)日: | 2014-04-23 |
发明(设计)人: | 熊礼威;龚国华;汪建华;刘繁;翁俊;崔晓慧 | 申请(专利权)人: | 武汉工程大学 |
主分类号: | C23C16/24 | 分类号: | C23C16/24;C23C16/511;H01L31/18 |
代理公司: | 湖北武汉永嘉专利代理有限公司 42102 | 代理人: | 崔友明 |
地址: | 430074 湖北*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 制备 大面积 太阳能电池 片硅膜 微波 等离子体 装置 | ||
1.一种制备大面积太阳能电池片硅膜的微波等离子体装置,其特征在于,包括等功率狭缝板、反应腔、多路微波源和多路微波传输系统,所述反应腔的顶部设有石英玻璃板,所述石英玻璃板位于所述等功率狭缝板下方,多路微波源和多路微波传输系统并排设置在所述等功率狭缝板上方,所述反应腔内部设有电池片传动系统,所述微波源产生的微波通过微波传输系统后在等功率狭缝板下方的石英玻璃板下表面激发表面波等离子体,所述反应腔上设有抽真空接口和通工作气体接口。
2.根据权利要求1所述的制备大面积太阳能电池片硅膜的微波等离子体装置,其特征在于,所述微波传输系统包括环形器、水负载、三销钉螺栓匹配器和短路活塞,所述微波源产生的微波通过环形器、三销钉螺栓匹配器后进入溃入区域,在溃入区域,微波通过功率狭缝板的狭缝溃入到反应腔中,通过所述短路活塞调节微波的波形。
3.根据权利要求1所述的制备大面积太阳能电池片硅膜的微波等离子体装置,其特征在于,所述反应腔上设有观察窗口。
4.根据权利要求1所述的制备大面积太阳能电池片硅膜的微波等离子体装置,其特征在于,所述电池片传动系统的下方设有红外加热系统。
5.根据权利要求1所述的制备大面积太阳能电池片硅膜的微波等离子体装置,其特征在于,所述石英玻璃板通过橡胶密封圈与反应腔体密封连接,所述密封圈四周设有水冷系统。
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C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的