[发明专利]一种用于化学气相沉积反应的一体化在线检测系统

权利要求书

1.一种用于化学气相沉积反应的一体化在线检测系统，其特征是，所述的系统具体包括：

化学反应子系统；

进气子系统，包括气体质量流量计，与所述化学反应子系统相连接；

抽真空子系统，与所述的化学反应子系统相连接；

气体采集子系统，与所述的化学反应子系统相连接；

控制子系统，分别与所述的进气子系统、抽真空子系统、气体采集子系统以及化学反应子系统相连接，用于采集所述气体质量流量计的流量，采集所述化学反应子系统的压力值、温度值、气体浓度，根据所述的流量、压力值、温度值以及气体浓度进行PID控制。

2.根据权利要求1所述的系统，其特征是，所述的化学反应子系统具体包括：

与所述气体质量流量计相连接的固定床；

与所述的固定床相连接的微孔分布板；

与所述微孔分布板相连接的流化床；

向所述流化床、固定床加热的加热炉；

与所述的流化床相连接的过滤网。

3.根据权利要求2所述的系统，其特征是，所述的抽真空子系统具体包括：

与所述固定床相连的第一抽真空气动阀；

与所述第一抽真空气动阀相连接的真空泵；

与所述过滤网相连接的排气阀。

4.根据权利要求3所述的系统，其特征是，所述的抽真空子系统还包括与所述过滤网、所述真空泵相连接的第二抽真空气动阀。

5.根据权利要求4所述的系统，其特征是，所述的气体采集子系统具体包括：

与所述过滤网相连接的气体质谱仪以及气相色谱仪；

与所述流化床相连接的颗粒采样器；

与所述流化床以及固定床相连接的压力传感器、温度传感器。

6.根据权利要求5所述的系统，其特征是，所述的气体采集子系统还包括分别与所述过滤网、所述气体质谱仪、气相色谱仪相连接的气动控制阀。

7.根据权利要求5所述的系统，其特征是，所述的气体采集子系统还包括分别与所述过滤网、所述颗粒采样器相连接的第一颗粒采样气动阀。

8.根据权利要求5所述的系统，其特征是，所述的气体采集子系统还包括分别与所述真空泵、所述颗粒采样器相连接的第二颗粒采样气动阀。

9.根据权利要求5所述的系统，其特征是，所述的控制子系统具体包括：

温度变送器，与所述的温度传感器相连接，用于将所述化学反应子系统的温度值转化为电信号，传送至可编程逻辑控制器PLC；

继电器，与所述的真空泵、所述的加热炉相连接；

气体分配器，与所述的PLC、第一抽真空气动阀、排气阀、第二抽真空气动阀、气动控制阀、第一颗粒采样气动阀、第二颗粒采样气动阀相连接；

色谱工作站，与所述的气相色谱仪相连接，用于将所述气相色谱仪输出的信号转化为电信号，传送至工业控制计算机；

所述的工业控制计算机，与所述的PLC、所述气体质谱仪以及所述的色谱工作站相连接，用于根据所述气相色谱仪输出的信号、所述气体质谱仪输出的信号确定出所述化学反应子系统的气体浓度；

所述的PLC，用于采集所述气体质量流量计的流量，采集所述化学反应子系统的压力值、温度值、气体浓度，根据所述的流量、压力值、温度值以及气体浓度进行PID控制。

10.根据权利要求9所述的系统，其特征是，所述的控制子系统还包括人机交互界面，与所述的工业控制计算机相连接，用于采集用户输入的控制信号，所述的控制信号用于控制第一抽真空气动阀、排气阀、第二抽真空气动阀、气动控制阀、第一颗粒采样气动阀、第二颗粒采样气动阀的开关。