[发明专利]加工装置

权利要求书

1.一种加工装置，在具备输出交流电压的供电装置的主体侧与能够相对于该主体侧旋转且具备连接工具的超声波振子的工具侧之间，成对的初级侧电力用线圈和次级侧电力用线圈设置在上述工具侧的旋转中心轴的同心轴上，通过这些电力用线圈从上述主体侧的上述供电装置向上述工具侧的上述超声波振子供给驱动电力，该加工装置的特征在于，

在上述主体侧和上述工具侧之间，成对的信号用线圈在上述主体侧和上述工具侧分别以与上述电力用线圈在同心轴上且在轴方向上叠加的方式配设，另一方面，在上述工具侧设置有检测上述超声波振子的振动状态的检测单元，能够利用上述信号用线圈将该检测单元的检测信号从上述工具侧发送到上述主体侧，并且在上述主体侧设置有根据上述检测单元的检测信号来控制向上述初级侧电力用线圈的供电频率的供电控制单元，另一方面，上述主体侧和上述工具侧中的至少一方的上述信号用线圈以产生相互反向的电动势的线圈绕组路径形成来抵消由于上述电力用线圈所产生的磁通的影响而使该信号用线圈产生的电动势。

2.根据权利要求1所述的加工装置，其特征在于，

上述产生相互反向的电动势的线圈绕组路径构成为包含相互反向卷绕的第一绕组部分和第二绕组部分。

3.根据权利要求2所述的加工装置，其特征在于，

上述第一绕组部分和从该第一绕组部分折返并沿该第一绕组部分反向卷绕的上述第二绕组部分形成在同一平面上。

4.根据权利要求1～3中的任一项所述的加工装置，其特征在于，

在上述主体侧和上述工具侧中的至少一方设置有由导磁材料构成并形成有在圆周方向上延伸的槽部的壶型芯，上述电力用线圈和上述信号用线圈两方都被收容在上述槽部。

5.根据权利要求4所述的加工装置，其特征在于，

上述壶型芯仅被设置在上述主体侧。

6.根据权利要求4或5所述的加工装置，其特征在于，

使上述第一绕组部分与上述第二绕组部分的分离距离大于上述信号用线圈两侧的与上述槽部的壁部之间的分离距离。

7.根据权利要求1～6中的任一项所述的加工装置，其特征在于，

上述超声波振子是层叠有多个压电元件的朗之万型振子，由与这些多个压电元件一起层叠的压电元件构成上述检测单元。