[发明专利]重掺硼硅单晶棒的拉制方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种重掺硼硅单晶棒的拉制方法。 

背景技术

重掺硼硅单晶片是一种应用范围很广的硅片。衡量重掺硼硅单晶片性能的一种重要指标是氧含量。氧含量过高会导致晶片在做成器件后不良率较高，漏电现象较多。 

发明内容

本发明的目的是为了克服现有技术中的不足，提供一种氧含量低的重掺硼硅单晶棒的拉制方法。 

为实现以上目的，本发明通过以下技术方案实现： 

重掺硼硅单晶棒的拉制方法，其特征在于，使用封闭热场拉制硅单晶棒，封闭热场内设置有石英坩埚，所述石英坩埚尺寸为14寸，每次拉制投料量为22kg-27kg；封闭热场内氩气流量为50-60L/min；炉内压力为10-15Torr；坩埚转速为5-15rpm。 

优选地是，使用封闭热场拉制硅单晶棒，封闭热场内设置有石英坩埚，所述石英坩埚尺寸为14寸，每次拉制投料量为24kg-26kg；封闭热场内氩气流量为54-56L/min；炉内压力为12-13Torr；坩埚转速为8-12rpm。 

本发明中的重掺硼硅单晶棒的拉制方法，晶棒头部的氧含量低于26pma；尾 部氧含量低于23.9ppma。 

具体实施方式

下面对本发明进行详细的描述： 

实施例1 

重掺硼硅单晶棒的拉制方法，使用封闭热场拉制硅单晶棒，封闭热场内设置有石英坩埚，所述石英坩埚尺寸为14寸，每次拉制投料量为22kg；封闭热场内氩气流量为50L/min；炉内压力为14Torr；坩埚转速为10rpm。 

实施例2 

重掺硼硅单晶棒的拉制方法，使用封闭热场拉制硅单晶棒，封闭热场内设置有石英坩埚，所述石英坩埚尺寸为14寸，每次拉制投料量为25kg；封闭热场内氩气流量为54L/min；炉内压力为12Torr；坩埚转速为p8rpm。 

实施例3 

重掺硼硅单晶棒的拉制方法，其特征在于，使用封闭热场拉制硅单晶棒，封闭热场内设置有石英坩埚，所述石英坩埚尺寸为14寸，每次拉制投料量为23kg；封闭热场内氩气流量为52L/min；炉内压力为13Torr；坩埚转速为p10rpm。 

实施例4 

重掺硼硅单晶棒的拉制方法，其特征在于，使用封闭热场拉制硅单晶棒，封闭热场内设置有石英坩埚，所述石英坩埚尺寸为14寸，每次拉制投料量为26kg；封闭热场内氩气流量为55L/min；炉内压力为12Torr；坩埚转速为p8rpm。 

实施例5 

重掺硼硅单晶棒的拉制方法，其特征在于，使用封闭热场拉制硅单晶棒，封闭热场内设置有石英坩埚，所述石英坩埚尺寸为14寸，每次拉制投料量为26kg；封闭热场内氩气流量为60L/min；炉内压力为10Torr；坩埚转速为p5rpm。 

实施例1-5拉制的重掺硼硅单晶棒，晶棒头部的氧含量最高为26ppma；尾部氧含量最高为23.9ppma。生产的晶片符合后道使用要求。制成的器件不良率下降20%，漏电现象减少。 

本发明中的实施例仅用于对本发明进行说明，并不构成对权利要求范围的限制，本领域内技术人员可以想到的其他实质上等同的替代，均在本发明保护范围内。