[发明专利]检测管状物漏气的装置及其方法

说明书

技术领域

本发明涉及半导体领域，具体是涉及一种检测管状物漏气的装置及其方法。

背景技术

伴随集成电路制造工艺的不断进步，半导体器件制造所需要的气体也更加的多元化，并且绝大部分的气体都是具有高腐蚀性和可燃性；

IC工艺制作过程中会用到很多的有毒、有害、高腐蚀气体，在IC硬件上一般是在腔体内进行化学反应，有很多的化学反应的场所就是由陶瓷、石英等材料制作一个管状形场所。由于陶瓷、石英等材料的管状物制品引起的气体泄漏的安全事件屡有发生，所以需要在有毒有害气体未危及人体或未造成安全事故的时候及时减小或排除事故造成的损失。

目前IC工艺制作过程中的测漏装置对陶瓷、石英等管状物制品进行测漏时容易产生误测，原因是管状物存在一些微小颗粒堵住漏点，而这些微小颗粒随时会从管状物上脱落，这对安装和使用环境都存在潜在的危险。IC制造的设备用到很多对人体有害的气体，比如HF、SiH4、SiF4等气体，若是泄漏轻则影响人体的健康，重者会危及生命。

因此，提高现有检测装置的准确性，防止有颗粒物堵住漏点使检测装置产生误报成为本领域技术人员亟待解决的问题。

发明内容

本发明的目的在于提供一种检测管状物漏气的装置，防止微小颗粒堵住管状物漏点，避免把含有漏点的管状物直接安装使用，导致在使用时发生有毒有害的气体泄露，危及人体或造成安全事故。

本发明为解决上述技术问题而采用的技术方案是提供一种检测管状物漏气的装置，包括：水槽、管状物、导气管、充气机、超声波装置、电源；

所述水槽内装有液体介质，且所述水槽底部设有用于固定所述管状物的第一支架及第二支架，所述第一支架高于所述第二支架，使所述管状物相对于水平面倾斜设置，且所述管状物的高处端部低于液面；

所述管状物的高处端部设有可拆卸的用于密封的第一闷头塞，所述管状物的低处端部设有可拆卸的用于密封的第二闷头塞，所述第二闷头塞上设有供导气管通过的通孔；

所述水槽外设有充气机，所述充气机与导气管的一端连接，导气管的另一端与管状物的低处端部连接；

所述超声波装置设在水槽内，用于产生超声波振动；所述电源安装在水槽外，用于产生高频交流电流的电源；所述超声波装置与所述电源连接。

优选的，所述超声波装置的振动频率为30KHz或以上。

优选的，所述管状物为陶瓷或石英材料。

优选的，所述管状物与水平面的夹角为30°～60°。

优选的，所述管状物与水平面的夹角为45°。

优选的，所述水槽是由有机玻璃或不锈钢一体制成的。

优选的，所述第一支架、第二支架、第一闷头塞、第二闷头塞、导气管的材料为全氟烷氧基树脂。

本发明一种检测管状物漏气的方法，包括以下步骤：

步骤一S1：将待检测的管状物固定在第一支架及第二支架上，且管状物相对于水平面倾斜设置；

步骤二S2：往水槽内注入液体介质，且液面高于管状物的高处端部；

步骤三S3：打开超声波装置，所述超声波装置的振动频率为30KHz或以上，对所述管状物进行振荡清扫，清扫完毕后，将第一闷头塞密封所述管状物的高处端部；

步骤四S4：开启充气机，从所述管状物的低处端部插入导气管进行充气，使管状物管内的液体介质排出；

步骤五S5：将所述管状物管内的液体介质排出后，将连接导气管的第二闷头塞密封管状物的低处端部；

步骤六S6：对所述管状物充气1～2分钟，使所述管状物的管内压力大于管外的液体压力；

步骤七S7：判断所述管状物是否漏气：如果检测到所述管状物表面无气泡，则所述管状物表面没有漏气现象；否则，所述管状物存在漏气现象。

优选的，步骤三中震荡清洗为20-30分钟。

优选的，所述液体介质为去离子水。

本发明通过增设超声波清洗装置，对管状物进行振荡清扫，有效提高现有检测装置的准确性，防止有颗粒物堵住漏点使检测装置产生误报，其结构简单，成本低，避免把含有漏点的管状物直接安装使用，导致在使用时发生有毒有害的气体泄露，危及人体或造成安全事故。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本发明检测管状物漏气的装置的结构示意图；