[发明专利]一种镀膜机坩埚设备

权利要求书

1.一种镀膜机坩埚设备(100)，其特征在于，所述镀膜机坩埚设备(100)包括桶状结构(112)、多个加热器(120)、坩埚(110)、多个温度传感器(160)及多个驱动机构(200)，所述多个加热器(120)纵向分布在所述桶状结构(112)内并用于对所述坩埚(110)内的材料进行加热，所述多个温度传感器(160)纵向分布在所述坩埚(110)内以测量所述坩埚(110)内的温度，所述多个驱动机构(200)用于使所述多个加热器(120)中的至少一个加热器(120)纵向移动以控制所述坩埚(110)内的温度分布。

2.根据权利要求1所述的镀膜机坩埚设备(100)，其特征在于，所述多个加热器(120)包括缠绕在所述桶状结构(112)的内壁上的加热电热丝(122)，所述坩埚(110)位于所述桶状结构(112)内部，所述多个加热器(120)位于所述坩埚(110)的外壁与所述桶状结构(112)的内壁之间。

3.根据权利要求2所述的镀膜机坩埚设备(100)，其特征在于，所述加热电热丝(122)的分布密度沿纵向不同。

4.根据权利要求1所述的镀膜机坩埚设备(100)，其特征在于，所述多个温度传感器(160)包括位于所述坩埚(110)的纵向不同区域的多个热电偶。

5.根据权利要求1所述的镀膜机坩埚设备(100)，其特征在于，所述坩埚(110)的下部设置有隔热垫(132)，所述坩埚(110)的上部设有隔热罩(150)。

6.根据权利要求1所述的镀膜机坩埚设备(100)，其特征在于，所述坩埚(110)具有容纳部(104)及出口部，所述容纳部(104)与所述出口部连通，所述出口部具有一个出气口(102)或多个出气口。

7.根据权利要求1至6任一项所述的镀膜机坩埚设备(100)，其特征在于，所述多个驱动机构(200)包括分别位于所述桶状结构(112)的两侧的左驱动机构组和右驱动机构组，所述左驱动机构组和所述右驱动机构组对称分布。

8.根据权利要求7所述的镀膜机坩埚设备(100)，其特征在于，所述多个驱动机构(200)包括至少十二个驱动机构。

9.根据权利要求8所述的镀膜机坩埚设备(100)，其特征在于，各驱动机构(200)均具有驱动源(202)和传动杆结构，所述传动杆结构用于将驱动源(202)的动力传递至所述至少一个加热器(120)。

10.根据权利要求9所述的镀膜机坩埚设备(100)，其特征在于，所述传动杆结构包括横向传动杆(204)及纵向传动杆(206)，所述横向传动杆(204)与所述驱动源(202)连接并穿过所述桶状结构(112)的壁部与所述纵向传动杆(206)连接，所述纵向传动杆(206)用于驱动所述至少一个加热器(120)纵向移动。