[发明专利]MEMS麦克风

权利要求书

1.一种MEM麦克风，包括具有背腔的基底以及设于所述基底上的电容系统，所述电容系统包括背板以及与所述背板相对且分别设置在所述背板两侧的第一振膜和第二振膜，所述第一振膜和第二振膜与背板分隔一定距离并分别形成第一绝缘间隙和第二绝缘间隙，其特征在于：该MEMS麦克风还包括分别位于所述第一绝缘间隙和第二绝缘间隙内的至少一个第一绝缘支撑件和第二绝缘支撑件，所述第一绝缘支撑件与所述第一振膜或背板相连，所述第二绝缘支撑件与所述第二振膜或背板相连；

在该MEMS麦克风未通电工作时，所述第一绝缘支撑件与所述背板或第一振膜相隔一定距离，所述第二绝缘支撑件与所述背板或第二振膜相隔一定距离；

在该MEMS麦克风通电工作时，所述第一绝缘支撑件与所述背板或第一振膜抵接，从而将所述第一振膜分为至少两个振动单元，任一所述振动单元均与所述背板形成电容，而所述第二绝缘支撑件与所述第二振膜或背板相隔一定距离；或

所述第二绝缘支撑件与所述第二振膜或背板抵接，从而将所述第二振膜分为至少两个振动单元，任一所述振动单元均与所述背板形成电容，而所述第一绝缘支撑件与所述背板或第一振膜相隔一定距离。

2.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于，在所述MEMS麦克风通电工作时，所述第一绝缘支撑件与所述背板或第一振膜抵接，所述第二绝缘支撑件横截面的长度为所述背板与所述第二振膜之间间隙宽度的三分之二。

3.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于，在所述MEMS麦克风通电工作时，所述第二绝缘支撑件与所述背板或第二振膜抵接，所述第一绝缘支撑件横截面的长度为所述背板与所述第一振膜之间间隙宽度的三分之二。

4.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述背板朝向所述第一绝缘间隙和第二绝缘间隙的表面均设有若干个防止所述振动单元与所述背板粘接的绝缘凸起。

5.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述基底具有上表面和与所述上表面相对的下表面，所述上表面上设有绝缘层，所述背腔贯通所述上表面、所述绝缘层以及所述下表面；所述电容系统通过该绝缘层与所述基底绝缘相连。

6.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述背板或第一振膜朝向第一绝缘间隙的表面、和/或所述背板或第二振膜朝向所述第二绝缘间隙的表面还设有限位挡板和由限位挡板围成的限位槽，所述限位槽与所述第一绝缘支撑件或第二绝缘支撑件的位置对应。