[发明专利]MEMS麦克风

权利要求书

1.一种MEMS麦克风，其包括具有背腔的基底以及设置在所述基底上的电容系统；所述电容系统包括背板以及与所述背板相对的振膜所述背板与振膜分隔一定距离并形成绝缘间隙，其特征在于：

所述振膜或背板上设有位于所述绝缘间隙内的至少一个绝缘支撑件；在该MEMS麦克风不工作时，所述绝缘支撑件与所述背板或振膜相隔一定距离，在该MEMS麦克风通电工作时，所述绝缘支撑件与所述背板或振膜抵接，从而将所述振膜分为至少两个振动单元，任一所述振动单元均与所述背板形成电容。

2.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述背板包括第一背板和第二背板，所述第一背板和第二背板与所述振膜相对并分别设置于所述振膜的两侧，所述绝缘部将所述第一背板与所述振膜、所述第二背板与所述振膜分隔一定距离并分别形成第一绝缘间隙和第二绝缘间隙；

所述绝缘支撑件包括设于所述第一绝缘间隙或所述第二绝缘间隙内，所述绝缘支撑件与所述第一背板或振膜相连，或与所述第二背板或振膜相连。

3.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述振膜包括第一振膜和第二振膜，所述第一振膜和第二振膜与所述背板相对并分别设置与所述背板的两侧，所述绝缘部将所述第一振膜与所述背板、所述第二振膜与所述背板分隔一定距离并分别形成第一绝缘间隙和第二绝缘间隙；

所述绝缘支撑件包括设于所述第一绝缘间隙内且与所述第一振膜或背板相连的第一绝缘支撑件以及设于所述第二绝缘间隙内且与所述第二振膜或背板相连的第二绝缘支撑件。

4.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述振膜或背板上设有两个过所述振膜或背板几何中心的绝缘支撑件，两个所述绝缘支撑件相互垂直。

5.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述背板或所述振动单元朝向所述绝缘间隙的表面还设有若干个用于防止所述振动单元和背板粘接的绝缘凸起。

6.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述振膜或背板朝向所述绝缘间隙的表面还设有限位挡板和由所述限位挡板围成的限位槽，所述限位槽与所述绝缘支撑件位置对应。

7.根据权利要求1-6任一项所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述基底具有上表面和与所述上表面相对的下表面，所述上表面上设有绝缘层，所述背腔贯通所述上表面、所述绝缘层以及所述下表面；所述电容系统通过该绝缘层与所述基底绝缘相连。

8.根据权利要求7所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述背板与所述绝缘层相连，所述背板具有与所述绝缘层相连的第一表面和与所述第一表面相对的第二表面，所述绝缘部设于所述第二表面上，所述振膜与所述绝缘部相连。

9.根据权利要求7所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述振膜与所述绝缘层相连，所述振膜具有与所述绝缘层相连的底面和与所述底面相对的顶面，所述绝缘部设于所述顶面上，所述背板与所述绝缘部相连。

10.一种MEMS麦克风，其包括具有至少一个背腔的导电衬底以及与所述导电衬底相对设置的振膜所述导电衬底与所述振膜分隔一定距离并形成电容系统，其特征在于：

所述导电衬底或所述振膜上设有位于所述导电衬底和所述振膜之间的至少一个绝缘支撑件；所述绝缘支撑件在该MEMS麦克风不工作时与所述振膜或导电衬底分开，在该MEMS麦克风通电工作时与所述振膜或导电衬底抵接，从而将所述振膜分为至少两个振动单元，任一所述振动单元均与所述导电衬底形成电容。

11.根据权利要求10所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述导电衬底或所述振动单元靠近所述绝缘间隙的表面还设有若干个用于防止所述振动单元和所述导电衬底粘接的绝缘凸起。