[发明专利]一种磁浮式驱动装置

权利要求书

1.一种磁浮式驱动装置，包括底座（28）、主支座（24）、移动工件台（21）、滑块（22）、导轨（23）；所述的导轨（22）与主支座（24）相连；所述的移动工件台（21）与滑块（22）相连，随滑块（22）在导轨（23）上移动；其特征是：还包括磁浮单元，所述的磁浮单元包括磁浮支撑体（25）、直线电机永磁定子（26）与直线电机动子（27）；

所述的主支座（24）数目是大于或等于2的偶数，两个为一组；每组中，两个主支座（24）有间隔地位于底座（28）两侧；每个主支座（24）一端与底座（28）上表面固定连接，另一端带有第一凸出部分；

所述的磁浮单元数目与主支座数目相等；

所述的磁浮支撑体（25）一端与移动工件台（21）下表面固定连接，另一端带有第二凸出部分；

所述的永磁定子（26）位于该第一凸出部分的下表面，所述的直线电机动子（27）位于该第二凸出部分的上表面，二者呈上下相对、有间隙的放置结构；当直线电机动子（27）通以电流，直线电机动子（27）与永磁定子（26）之间产生直线推力。

2.如权利要求1所述的磁浮式驱动装置，其特征是：所述的主支座（24）呈倒L型结构。

3.如权利要求1所述的磁浮式驱动装置，其特征是：所述的磁浮支撑体（25）呈L型结构。

4.如权利要求1所述的磁浮式驱动装置，其特征是：所述的每组主支座中，两个主支座（24）以底座（28）上表面几何对称线为轴，呈对称分布。

5.如权利要求1所述的磁浮式驱动装置，其特征是：与每组主支座中的两个主支座相匹配的两个磁浮支撑体（25）以移动工件台（21）下表面几何对称线为轴，呈对称分布。

6.如权利要求1所述的磁浮式驱动装置，其特征是：所述的永磁定子（26）采用模块化结构，沿主支座（24）下表面的长度方向进行模块拼接。

7.如权利要求1至6中任一权利要求所述的磁浮式驱动装置，其特征是：还包括至少一个副磁浮模块，所述的副磁浮模块包括副底座（34）、副支座（31）与副磁浮单元；

所述的副底座（34）与底座（28）上表面固定连接，并且位于两个主支座（24）之间；

所述的副支座（31）数目是两个；每个副支座（31）一端与副底座（34）上表面固定连接，另一端带有第三凸出部分；

所述的副磁浮单元包括副磁浮支撑体（33）与永磁体（32）；所述的副磁浮支撑体（33）一端与移动工件台（21）下表面固定连接，另一端的两侧分别带有第四凸出部分与第五凸出部分；

所述的永磁体（32）位于第四凸出部分与第五凸出部分上表面；所述的第三凸出部分下表面材料为磁性材料；所述的永磁体与该磁性材料呈上下相对、有间隙的放置结构，二者之间产生磁性吸引力。

8.如权利要求7所述的磁浮式驱动装置，其特征是：所述的副支座呈倒T型结构。

9.如权利要求7所述的磁浮式驱动装置，其特征是：所述的磁性材料为铁质磁性材料。

10.如权利要求7所述的磁浮式驱动装置，其特征是：所述的副支座（31）整体采用磁性材料。