[发明专利]树枝状化合物,光刻胶组合物和制备电子设备的方法有效
申请号: | 201310757482.0 | 申请日: | 2013-12-31 |
公开(公告)号: | CN103936641A | 公开(公告)日: | 2014-07-23 |
发明(设计)人: | E·阿恰达;C-B·徐;I·考尔;李明琦;孙纪斌;C·安德斯 | 申请(专利权)人: | 罗门哈斯电子材料有限公司 |
主分类号: | C07C381/12 | 分类号: | C07C381/12;C07C309/12;C07C303/32;C08G83/00;G03F7/004;G03F7/00 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人: | 陈哲锋 |
地址: | 美国马*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 树枝 化合物 光刻 组合 制备 电子设备 方法 | ||
1.一种树枝状化合物,所述树枝状化合物包括:
含有包括阴离子基团和连接基团的焦点的树枝状阴离子;以及
光活性阳离子。
2.权利要求1所述的树枝状化合物,其中所述树枝状化合物为通式(I):
其中:
L为取代或未取代的支链C1-30脂族基团、C5-30芳族基团或C6-30芳烷基基团,具有两个或更多支链,每个支链具有官能团,其中该官能团独立选自胺、醚、羰基、酯、酰胺、硫酸根、磺酸根、磺酰亚胺、或包括至少一个上述基团的组合;
X为取代或未取代的C1-30烷基、C1-30氟代烷基、C3-30环烷基或C3-30氟代环烷基基团,任选地包含含有醚、酯、碳酸根、胺、酰胺、脲、硫酸根、磺酸根或磺酰胺的基团;
T为端基,所述端基包括取代或未取代的,C5或更高级环、多环或稠合多环脂族基团、芳族基团、酸不稳定基团或环状内酯,其中端基的一个或多个碳原子可被杂原子取代;
n为选自1或更大的整数的代数;
y为在给定的树枝状代n之内连接基L的数量,并选自1或更大的整数;
w为在树枝状代n以内连接基L的末端分支的数量,并选自2或更大的数;
其中对于第一代(n=1),L与X共价连接,以及对于随后的代(n=2或更多),随后代的L与前一代(n-1)的基团L连接,且最终树枝状代之内的连接基团L的每个末端分支在端基T终止;以及
Z+为光活性阳离子。
3.权利要求2所述的树枝状化合物,其中一个或多个端基T包含酸不稳定基团。
4.权利要求2或3所述的树枝状化合物,其中一个或多个端基T包含未保护基团。
5.权利要求1-4所述的树枝状化合物,其中Z+为通式(V)的阳离子:
其中每个R1独立地为取代或未取代的C1-20烷基、C1-20氟代烷基、C3-20环烷基、C3-20氟代环烷基、C2-20烯基、C2-20氟代烯基、C6-20芳基、C6-20氟代芳基、C5-20杂芳基、C7-20芳烷基、C7-20氟代芳烷基、C6-20杂芳烷基,以及Ar为C5-30包含芳基的基团,其中R1基团—起或R1基团与Ar基团一起可与硫原子形成环,具有硫原子的环任选地包括杂原子或羰基基团。
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