[实用新型]OLED玻璃基板蒸镀机有效
| 申请号： | 201320001549.3 | 申请日： | 2013-01-04 |
| 公开（公告）号： | CN203021641U | 公开（公告）日： | 2013-06-26 |
| 发明（设计）人： | 南一虎;金铉东;赵芳 | 申请（专利权）人： | 四川虹视显示技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24;H01L51/56 |
| 代理公司： | 成都虹桥专利事务所(普通合伙) 51124 | 代理人： | 刘世平 |
| 地址： | 611731 四川*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | oled 玻璃 基板蒸镀机 | ||
【权利要求书】：
1.OLED玻璃基板蒸镀机，包括主挡板（1）和位于所述主挡板（1）下方的第一点蒸发源（2）和第二点蒸发源（3），玻璃基板（4）设置于所述主挡板（1）上方，所述第一点蒸发源（2）和第二点蒸发源（3）在玻璃基板（4）上的蒸镀范围存在重合区域（6），其特征在于：还包括子挡板（5），所述子挡板（5）设置于所述玻璃基板（4）下方，且能够遮挡所述重合区域（6）。
2.根据权利要求1所述的OLED玻璃基板蒸镀机，其特征在于：所述子挡板（5）的几何中心与所述玻璃基板（4）的几何中心在竖直方向上共轴。
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