[实用新型]适用于动态气体发生器的超低浓度管路系统

权利要求书

1.一种适用于动态气体发生器的超低浓度管路系统，其特征在于，包括与第一质量流量计（1）输出口连接的超低浓度配气管（2）和与第二质量流量计（3）输出口连接高浓度配气管（4），所述超低浓度配气管（2）和高浓度配气管（4）同时接一气体混合组件后接气体配比输出管，所述第一质量流量计（1）输入口连接零气输入管（10），所述零气输入管（10）接零气发生器（7），所述第二质量流量计（3）输入口连接标气输入管（8），所述标气输入管（8）接钢瓶气（9）。

2.根据权利要求1所述的一种适用于动态气体发生器的超低浓度管路系统，其特征在于，所述超低浓度配气管（2）的输入气体浓度为小于100mL/min；所述高浓度配气管（4）的输入气体浓度为大于等于10L/min。

3.根据权利要求1所述的一种适用于动态气体发生器的超低浓度管路系统，其特征在于，所述的气体混合组件包括一螺旋状配气管（6），所述螺旋状配气管（6）采用聚四氟乙烯管。

4.根据权利要求1所述的一种适用于动态气体发生器的超低浓度管路系统，其特征在于，所述超低浓度配气管（2）的输入气体浓度为5mL/min-10mL/min，所述所述高浓度配气管（4）的输入气体浓度为大于等于10L/min。

5.根据权利要求1所述的一种适用于动态气体发生器的超低浓度管路系统，其特征在于，所述螺旋状配气管（6）的盘旋层数为大于等于10层。

6.根据权利要求1所述的一种适用于动态气体发生器的超低浓度管路系统，其特征在于，所述超低浓度配气管（2）和高浓度配气管（4）采用不锈钢，内壁均经过过氧化处理。