[实用新型]一种底部增强冷却装置有效
| 申请号： | 201320011648.X | 申请日： | 2013-01-10 |
| 公开（公告）号： | CN203065635U | 公开（公告）日： | 2013-07-17 |
| 发明（设计）人： | 孙建江;袁华中;张喻;朱伟锋;孙力锋 | 申请（专利权）人： | 浙江精功科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B28/06 | 分类号： | C30B28/06;C30B29/06 |
| 代理公司： | 绍兴市越兴专利事务所 33220 | 代理人： | 蒋卫东 |
| 地址： | 312030 浙江省绍兴*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 底部 增强 冷却 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种底部增强冷却装置，其特征在于：包括石英坩埚、石墨坩埚、加热器、热交换台以及石墨立柱；其中，所述石英坩埚放置于石墨坩埚内；所述石墨坩埚置于热交换台上；所述加热器设置于石墨坩埚四周；所述石墨立柱与所述热交换台连接，并能将冷却气体送入热交换台。
2.如权利要求1所述的底部增强冷却装置，其特征在于：于所述热交换台的中心设有一中心孔，于所述热交换台的四个角上分别设有一开孔，所述中心孔和四个开孔分别与一石墨立柱连通。
3.如权利要求2所述的底部增强冷却装置，其特征在于：于所述热交换台上间隔设置有若干口字形槽，所述若干口字形槽相互连通。
4.如权利要求3所述的底部增强冷却装置，其特征在于：其进一步包括一隔热笼；所述热交换台、石英坩埚、石墨坩埚、加热器均收容于隔热笼内。
5.如权利要求4所述的底部增强冷却装置，其特征在于：所述隔热笼收容于一真空炉体内，该真空炉体内通入一送气管。
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