[实用新型]基于微偏振片阵列的数字电子剪切散斑干涉仪

权利要求书

1.基于微偏振片阵列的数字电子剪切散斑干涉仪，包括激光器(1)、位于激光器(1)出射光束光路上的扩束镜(2)和被测物体(3)；其特征在于：还包括位于从被测物体(3)表面反射的光束的光路上且用于得到偏振方向相互垂直的两束相干线偏振光的剪切器、设置从剪切器出射的光束的光路上的微偏振片阵列(10)、与微偏振片阵列(10)相连的感光元件(11)和与感光元件(11)相连的用于对感光元件(11)采集的信号进行传输和处理的处理设备(12)。

2.根据权利要求1所述的基于微偏振片阵列的数字电子剪切散斑干涉仪，其特征在于：所述剪切器包括位于从被测物体(3)表面反射的光束的光路上的透镜(13)、位于从透镜(13)透射出的光束的光路上的偏振分光棱镜(4)、位于偏振分光棱镜(4)透射出的光束光路上的第一四分之一波片(5)、位于第一四分之一波片(5)透射出光束的光路上的第一反射机构(6)、位于偏振分光棱镜(4)反射出的光束的光路上的第二四分之一波片(7)、位于第二四分之一波片(7)透射出光束的光路上的第二反射机构(8)和位于偏振分光棱镜(4)上第二次透射与反射出的光束的光路上的第三四分之一波片(9)。

3.根据权利要求2所述的基于微偏振片阵列的数字电子剪切散斑干涉仪，其特征在于：所述第一四分之一波片(5)与第二四分之一波片(7)垂直。

4.根据权利要求2或3所述的基于微偏振片阵列的数字电子剪切散斑干涉仪，其特征在于：所述第三四分之一波片(9)与第一四分之一波片(5)垂直且同时与第二四分之一波片(7)平行。

5.根据权利要求2所述的基于微偏振片阵列的数字电子剪切散斑干涉仪，其特征在于：所述第一反射机构(6)与第二反射机构(8)均包括反射镜和与反射镜相连的用来调节反射镜偏转角度的偏转机构。

6.根据权利要求1所述的基于微偏振片阵列的数字电子剪切散斑干涉仪，其特征在于：所述剪切器包括位于从被测物体(3)表面反射的光束的光路上的透镜(13)、位于从透镜(13)透射出的光束的光路上的沃伦斯顿棱镜(14)和位于从沃伦斯顿棱镜(14)出射光束的光路上的第三四分之一波片(9)。

7.根据权利要求1所述的基于微偏振片阵列的数字电子剪切散斑干涉仪，其特征在于：所述的处理设备为计算机或微处理器。