[实用新型]一种12对棒还原炉喷嘴

说明书

技术领域

本实用新型尤指一种12对棒还原炉喷嘴，属硅还原领域。 

背景技术

在多晶硅生产领域，还原炉因进料喷嘴尺寸不合理，各尺寸喷嘴配合使用不规范，导致还原炉进料不均匀、气流波动大，造成在气相沉积前期硅芯、硅棒极易倒棒，后期硅棒沉积不平衡等现象，造成企业生产浪费，生产成本居高不下。因此，探索合适的喷嘴尺寸和不同尺寸的喷嘴合理搭配使用势在必行。 

发明内容

本实用新型目的是要确定12对棒还原炉喷嘴尺寸及不同尺寸喷嘴的配合使用，解决还原炉倒棒及硅棒沉积不平衡现象，提供一种由内和外两种规格喷嘴搭配使用的12对棒还原炉喷嘴。 

本实用新型12对棒还原炉喷嘴结构是：喷嘴为一体包括还原炉底盘（1）、喷头（3）、六边型卡头（2）、喷嘴丝口（4），喷嘴通过喷嘴丝口（4）固定于还原炉底盘（1），喷嘴经六边型卡头（2）旋紧。 

 所述的针对12对棒还原炉底部进料管分布结构，外围8个喷嘴以中心喷嘴为圆心分布，并进行不同规格尺寸喷嘴的搭配。 

所述的喷嘴尺寸有两种规格，一种为辅助喷嘴，规格为6～13㎜；另一种为主喷嘴，规格为26～30㎜，生产中相互搭配使用喷嘴搭配方式有“8个辅助喷嘴+1个主喷嘴”、“9个辅助喷嘴”或者其它各种辅助喷嘴与主喷嘴的组合配合方式。 

本实用新型喷嘴采用一种多晶硅还原炉喷嘴尺寸及不同尺寸喷嘴的最佳搭配的结构组合。喷嘴为一体包括还原炉底盘、喷头、六边型卡头、喷嘴丝口，喷嘴通过喷嘴丝口固定于还原炉底盘，喷嘴经六边型卡头旋紧，喷嘴尺寸有两种规格，一种为辅助喷嘴，规格为6～13㎜，另一种为主喷嘴，规格为26～30㎜，生产中喷嘴主辅相互搭配使用,搭配方式有“8个辅助喷嘴+1个主喷嘴”、“9个辅助喷嘴”等其它各种辅助喷嘴与主喷嘴的组合配合方式。 

作为本实用新型的进一步改进，喷嘴采用不锈钢（316L）加工，并经过热处理。 

本实用新型所述喷嘴与炉底盘采用螺纹连接，可拆卸连接，拆卸、组装方便，所述喷嘴合适的尺寸使得混合气流流速降低，保证硅棒下部气流停留时间及气体更新，减少因气流对硅棒造成冲击而倒棒，同时能保证反应气流达到预定高度；所述喷嘴不同尺寸合理搭配使用，可减弱因炉内温差造成的硅棒温度梯度，提高沉积质量；所述喷嘴合适的尺寸及合理搭配可使硅棒倒棒率在原基础上下降10～15%，倒芯率下降20～30%，在生产上已得到很好实践证明。 

其有益效果是: 

1） 本实用新型拆卸、组装、维护方便； 

2） 本实用新型可使硅棒倒棒率在原基础上下降10～15%，倒芯率下降20～30%； 

附图说明：

图1为实用新型喷嘴放置在还原炉内的剖面示意图； 

图2为实用新型喷嘴放大后的纵向剖面示意图； 

图3为实用新型喷嘴俯视示意图； 

图4为实用新型喷嘴分布及不同尺寸喷嘴分布示意图； 

图中标号:1-还原炉底盘；2-六边型卡头；3-喷头；4-喷嘴丝口；5—进料盘管；6—进料调节阀；7—反应尾气；8—钟罩。 

具体实施方式

实施例1：本实用新型喷嘴采用一种多晶硅还原炉喷嘴尺寸及不同尺寸喷嘴的最佳搭配的结构组合。喷嘴为一体包括还原炉底盘1、喷头3、六边型卡头2、喷嘴丝口4，喷嘴通过喷嘴丝口4固定于还原炉底盘1，喷嘴经六边型卡头2旋紧，喷嘴尺寸有两种规格，一种为辅助喷嘴，规格为6～13㎜，另一种为主喷嘴，规格为26～30㎜，生产中相互搭配使用喷嘴搭配方式有“8个辅助喷嘴+1个主喷嘴”、“9个辅助喷嘴”等各种辅助喷嘴与主喷嘴的组合配合方式。 

本实用新型喷嘴为一体式构造，中心喷头尺寸为实用新型喷嘴关键技术，喷嘴丝口4与炉底盘1丝坐连接，通过喷嘴六边型卡头3旋紧。本实用新型喷嘴喷头要求加工尺寸精确，表面光滑（表面经光滑处理），混合气流沿喷头垂直进入气场，均匀扩撒，再通过不同尺寸喷嘴的合理搭配，减弱炉内热场温度梯度，使热场得到最大平衡，并能充分确保气流速度、气流分布及达到预定气流高度，能有效降低倒棒率及提高硅棒沉积效率及外观质量。