[实用新型]一种新型热屏总成及其新型热屏装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及单晶炉技术领域，特别涉及一种新型热屏总成及其新型热屏装置。

背景技术

热屏是单晶炉热场不可缺少的部分，俗称导流筒，在拉晶的过程中，热屏的主要作用是引导气流，使晶体周围快速冷却，从而提高晶体的生长速度。为了进一步提高晶体的生长速度，还可以在热屏内侧增加钼片装置，以进一步减少加热器对晶棒的热辐射。

热屏包括热屏内筒和热屏外筒，请参阅图1，热屏内筒01为上大下小的中空锥形结构，其内壁具有光滑的锥度。目前通用的方法是将钼片02卷成和热屏内筒01的内壁结构类似的椎体，垂直放到热屏内筒01的内侧，由于热屏内筒01特殊的锥体结构，钼片02恰好可以架在热屏内筒01的内壁上。

但是目前这种钼片02的使用方式对钼片02的使用寿命有很高的要求，钼片02在卷制好架在热屏内筒01的内壁上使用一段时候后，就会变脆，用手轻轻一捏就可掰下一小片，并且在使用一段时候后，钼片02在高温下，可能会断裂或者掉渣，也就是下沿可能会脱落，这样的话钼片02的碎片渣掉到装满硅料溶液的石英坩埚里面，会直接影响成晶率，甚至有可能无法拉出单晶棒。

因此，目前单晶炉使用的热屏不能够满足盛放钼片的需求，如何改进热屏的结构，使其能够方便的装载钼片，完全避免钼片的碎片渣掉到单晶炉的石英坩埚内，成为本领域技术人员亟待解决的重要技术问题。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型提供了一种新型热屏装置，能够方便的装载钼片，完全可以避免钼片的碎片渣掉到单晶炉的石英坩埚内，进而保证拉晶的正常进行，提高成晶率。

本实用新型还提供了一种应用了上述新型热屏装置的新型热屏总成。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种新型热屏装置，包括热屏外筒和热屏内筒，所述热屏内筒的内壁沿周面开设有用于装载钼片的安装槽。

优选的，所述安装槽开设在所述热屏内筒的底部。

优选的，所述安装槽的高度和所述钼片的高度相同。

优选的，所述安装槽的深度具体为大于所述钼片的厚度1mm。

一种新型热屏总成，包括热屏装置和钼片装置，所述热屏装置为上述的新型热屏装置，所述钼片装置的钼片卡设在所述新型热屏装置的热屏内筒的安装槽内。

从上述的技术方案可以看出，本实用新型提供的新型热屏装置，通过在其热屏内筒的内壁沿周面开设有用于装载钼片的安装槽，使其能够方便的承载钼片，与现有技术中将卷成锥体的钼片直接架在热屏内筒光滑的锥形内壁上相比，本实用新型的设计完全可以避免钼片的碎片渣掉到单晶炉的石英坩埚内，进而保证拉晶的正常进行，提高成晶率。本方案中对于热屏的改造加工也很简单，易于实现。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为现有技术中热屏的结构示意图；

图2为本实用新型实施例提供的新型热屏装置的结构示意图；

图3为图2中A区域的局部放大视图。

其中，01为现有技术中的热屏内筒，02为钼片；

11为本实用新型实施例提供的新型热屏装置的热屏内筒，12为钼片。

具体实施方式

本实用新型的核心在于公开了一种新型热屏装置，能够方便的装载钼片，完全可以避免钼片的碎片渣掉到单晶炉的石英坩埚内，进而保证拉晶的正常进行，提高成晶率。

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图2和图3，图2为本实用新型实施例提供的新型热屏装置的结构示意图；图3为图2中A区域的局部放大视图。

本实用新型实施例提供的新型热屏装置，包括热屏外筒和热屏内筒11，其核心改进点在于，热屏内筒11的内壁沿周面开设有用于装载钼片12的安装槽。在安装时，将卷成锥体的钼片12卡在上述安装槽内即可，与现有技术中直接架在内壁上相比，钼片12的装载更加牢固和可靠，不易脱落；即使钼片12在使用过程中产生碎片渣，也会被留在安装槽内。