[实用新型]过滤装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种过滤装置。

背景技术

从半导体密封材料提取的元素根据其种类存在对半导体装置产生影响的情况。制造该半导体密封材料时，进行作为该半导体密封材料的信赖性特性确认的指标的原子吸收光谱分析（以下也称“AAS”）。

对于半导体密封材料，进行AAS时，为了得到测定样本，需要将半导体密封材料作为适当的溶液吸引过滤不要的固体成分。此时使用的过滤装置采用安装有吸引器的过滤滤过器。另外，使用该过滤装置时，调整AAS中使用的检测体的时间为每1个检测体在30-60分钟之间。另外，进行AAS时1次的测定中可以使用80个检测体以上。并且，1次AAS的测定时间为每1个检测体不到30分钟。

实用新型解决的课题

然而，采用所述以往的过滤装置则存在如下不利情况：必须按照样品份数准备吸引装置，难以同时处理多个样品，由于AAS用样品的调整需要花费时间故延迟了原子吸收光谱分析的测定等。

实用新型内容

本实用新型要解决的课题是，鉴于上述问题而提供一种能够以较短的时间对大量样本高效率地进行过滤的过滤装置。

根据本实用新型，提供一种过滤装置，具有密闭容器和、

对所述密闭容器内脱气的脱气部和、

配置为贯通所述密闭容器内外、过滤溶液的过滤部，

所述过滤部具有导入过滤前所述溶液的导入部和、排出过滤后所述溶液的排出部，所述导入部配置在所述密闭容器的外部，所述排出部配置在所述密闭容器的内部。

实用新型效果：

根据本实用新型，可以提供一种能够以较短的时间对大量样本高效率地进行过滤的过滤装置。

附图说明

图1是表示本实施方式所涉及的过滤装置的截面图。

图2是表示本实施方式所涉及的过滤装置的俯视图。

符号说明：

1…过滤装置

10…密闭容器

12…连接部

14…过滤部

18…导入部

19…排出部

20…载置台

21…储存容器

30…吸引管

31…吸引泵

32…脱气部

33…滤过器部

34…安装部

具体实施方式

以下，采用附图说明本实施方式。另外，在全部的附图中，同样的构件加了同样的符号、适当省略说明。

＜过滤装置＞

图1是表示本实施方式所涉及的过滤装置1的截面图。

如图1所示，本实施方式所涉及的过滤装置1具有密闭容器10和、对密闭容器10内脱气的脱气部32和、配置为贯通密闭容器10内外来过滤溶液的过滤部14。另外，该过滤装置1中，过滤部14具有导入过滤前的溶液的导入部18和、排出过滤后的溶液的排出部19，所述导入部18配置在密闭容器10的外部，所述排出部19配置在所述密闭容器10的内部。通过这样的构成，可以在短时间内对大量的样本进行高效率地吸引过滤。

＜密闭容器＞

密闭容器10可例示的有由顶板、底板以及4个侧壁组成的长方体。但是，密闭容器10只要能将储存容器21收纳在内部即可，没有特别限定。

在密闭容器10中设置有：安装过滤部14的具有开口的安装部34和、连接吸引管30的连接部12。另外，安装部34使密闭容器10的内部空间和外部空间相互连通。关于该安装部34和连接部12，后面会有说明。

另外，通过开关密闭容器10的某一面来回收被排出到密闭容器10内的滤液。密闭容器10的开关方法只要能回收被排出的滤液即可，没有特别限制。因此，取出被排出到密闭容器10内的滤液时，例如可以将该密闭容器10的顶板作为盖卸下。通过卸下该盖，可以存取密闭容器10内的储存容器21。从而，能够将所得到的滤液和储存容器21一起从密闭容器10取出。另外，也可以是代替顶板而将侧壁作为盖卸下的形态。在此，在将密闭容器10中盖以外的部件作为容器主体时，盖和容器主体需要安装为气密状态。

另外，根据本实施方式所涉及的过滤装置1，如后述那样，相对于一个密闭容器10也可以设置多个过滤部14。此时，在密闭容器10内，优选为在各过滤部14的排出部19的下方的位置上分别配置有载置台20。在该载置台20上，可以载置储存容器21，该储存容器21接收从排出部19被排出的溶液并予以储存。另外，在载置台20上载置储存容器21时，储存容器21的开口位于排出部19的下方。通过这样，能够将用过滤部14吸引过滤而得到的滤液高效率地回收在储存容器21内。