[实用新型]一种酸性蚀刻液循环再生电解系统废气处理净化装置有效
申请号: | 201320028762.3 | 申请日: | 2013-01-21 |
公开(公告)号: | CN203065575U | 公开(公告)日: | 2013-07-17 |
发明(设计)人: | 邰康乾;周爱成;赵业伟;张红涛 | 申请(专利权)人: | 昆山美源达环保科技有限公司 |
主分类号: | C23F1/46 | 分类号: | C23F1/46;B01D53/78;B01D53/68 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 215300 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 酸性 蚀刻 循环 再生 电解 系统 废气 处理 净化 装置 | ||
【权利要求书】:
1.一种酸性蚀刻液循环再生电解系统废气处理净化装置,包含阳极室、阀门、抽风机、废气管、净化装置、化气管、化气塔、再生管、再生系统,其特征在于:所述阳极室与阀门连接,阀门与抽风机连接,抽风机通过废气管与净化装置连接,净化装置顶端通过化气管与化气塔连接,净化装置底端通过再生管与再生系统连接。
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