[实用新型]多晶硅块磨床装夹工件的浮动夹持装置

权利要求书

1.一种多晶硅块磨床装夹工件的浮动夹持装置，其特征在于：包括连接体（14），在连接体（14）内侧设有支撑体（11），支撑体（11）上设有向内凹的锥面，与支撑体（11）相配有球面浮动体（5），在球面浮动体（5）上设有向外凸的球面，该球面与所述的锥面相配；在球面浮动体（5）与支撑体（11）之间设有浮动调节机构；在球面浮动体（5）上连接有支撑钉（6）。

2.根据权利要求1所述的多晶硅块磨床装夹工件的浮动夹持装置，其特征在于：所述的浮动调节机构是在球面浮动体（5）和支撑体（11）的中心孔处设有螺孔套（13），螺孔套（13）的一端头边沿与支撑体（11）之间设有碟簧（12），螺孔套（13）另一端螺纹连接有调节螺钉（8），调节螺钉（8）的端头边沿与球面浮动体（5）之间设有垫圈（7），调节螺钉（8）的端头边沿与螺孔套（13）之间设有调整垫（9）。

3.根据权利要求2所述的多晶硅块磨床装夹工件的浮动夹持装置，其特征在于：所述的支撑体（11）上设有轴向孔，该轴向孔内设有钢球（3）、弹簧（2）并螺纹连接有顶丝（1），所述的钢球（3）顶靠在球面浮动体（5）上的球面上。

4.根据权利要求3所述的多晶硅块磨床装夹工件的浮动夹持装置，其特征在于：所述的球面浮动体（5）端面固定连接有夹盘（10），所述的支撑钉（6）设在夹盘（10）上。