[实用新型]掩模板样品横断面切割工具有效
申请号: | 201320028904.6 | 申请日: | 2013-01-18 |
公开(公告)号: | CN203046015U | 公开(公告)日: | 2013-07-10 |
发明(设计)人: | 田明静 | 申请(专利权)人: | 中芯国际集成电路制造(北京)有限公司 |
主分类号: | B28D5/04 | 分类号: | B28D5/04 |
代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人: | 屈蘅;李时云 |
地址: | 100176 北京市大兴区*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 模板 样品 横断面 切割 工具 | ||
1.一种掩模板样品横断面切割工具,其特征在于,包括底板、两块条状垫片、横梁、刀具驱动机构、刀具以及掩模板样品固定机构,所述横梁架设于所述底板上,所述两块条状垫片沿所述横梁的纵向分别安装于所述横梁的两端下方,所述掩模板样品通过所述掩模板样品固定机构安装于所述底板上,所述两块条状垫片之间的间隙与所述掩模板样品上的观察图形区域相对应,通过带动所述刀具驱动机构沿所述横梁移动实现刀具对所述掩模板样品的切割。
2.根据权利要求1所述的掩模板样品横断面切割工具,其特征在于,所述横梁的一侧表面设有用于设定所述条状垫片位置的第二标尺,所述底板上设有用于设定所述掩模板样品位置的第一标尺,所述第二标尺和所述第一标尺平行设置且两者的刻度位置对应。
3.根据权利要求2所述的掩模板样品横断面切割工具,其特征在于,所述刀具包括刀片、刀轴以及紧固螺钉,所述刀轴的一端设有供所述刀片穿越的槽孔,所述刀片的一端穿设于所述槽孔内,所述刀片通过所述紧固螺钉与所述刀轴固定连接。
4.根据权利要求3所述的掩模板样品横断面切割工具,其特征在于,所述刀具驱动机构包括框架、至少两个滚珠、顶块、顶杆以及弹簧,所述框架套设于所述横梁及条状垫片的外侧,所述框架上与所述横梁相接触的表面设有滚珠,所述框架靠近底板的一侧设有供所述刀具的所述刀轴穿越的通孔,所述刀轴的另一端通过所述顶杆与位于所述框架内的所述顶块固定连接,所述弹簧套设于所述顶杆的外侧,所述框架通过所述弹簧将所述顶块顶向所述横梁,所述顶块上与所述横梁或者条状垫片相接触的表面设有另一滚珠。
5.根据权利要求4所述的掩模板样品横断面切割工具,其特征在于,所述刀具驱动机构还包括手柄,所述手柄设置于所述框架远离底板的一端。
6.根据权利要求4所述的掩模板样品横断面切割工具,其特征在于,所述框架上与所述横梁相接触的表面设有两个相间隔的滚珠,所述顶块上与所述横梁相接触的表面设有一滚珠,设于所述顶块上的滚珠与所述两个相间隔的滚珠的距离相等。
7.根据权利要求1所述的掩模板样品横断面切割工具,其特征在于,所述掩模板样品固定机构包括两对滑动锁紧机构,每个滑动锁紧机构包括滑块和锁紧件,所述底板上开设有与所述滑块相匹配的滑槽,所述滑块通过所述锁紧件固定于所述底板的所述滑槽内。
8.根据权利要求7所述的掩模板样品横断面切割工具,其特征在于,所述滑槽与所述横梁相互垂直。
9.根据权利要求1所述的掩模板样品横断面切割工具,其特征在于,所述第一标尺的两端分别通过连接板与所述底板活动连接。
10.根据权利要求1~9中任意一项所述的掩模板样品横断面切割工具,其特征在于,所述两块条状垫片的相对端分别设有导向坡。
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