[实用新型]电子束流大小的导向控制装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及了一种电子束流大小的导向控制装置，属于加速器束流控制技术领域。

背景技术

目前，国内外加速器的最低工作束流均在毫安数量级，而且常常工作在固定束流下。同一台加速器在不同场合工作时，束流可调范围也在一个数量级内，如要稳定地、平稳地调节到几十微安以内几乎是不可能实现的。

 通过灯丝的改进，可以使束流在微安数量级内实现平稳可调，但是要在纳安数量级内平稳可调是无法实现的。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是提供一种电子束流大小的导向控制装置，通过改变导向线圈的电流大小，调节束流通过圆孔的束流量，从而实现对电子束流大小的控制。

 为了解决上述技术问题，本实用新型所采用的技术方案是：

一种电子束流大小的导向控制装置，包括加速管，所述加速管的下端连接有扫描盒，所述加速管上安装有用于调整束流偏移量的导向线圈，所述加速管与扫描盒的连接处设置有光阑板，所述光阑板的中心开有圆孔。

前述的电子束流大小的导向控制装置，其特征在于：所述光阑板边缘四周为中空状，并设有通水孔。

前述的电子束流大小的导向控制装置，其特征在于：所述导向线圈上方的加速管上设置有聚焦线圈。

前述的电子束流大小的导向控制装置，其特征在于：所述扫描盒的上部设有Y扫描线圈和X扫描线圈。

本实用新型的有益效果是：通过在原有装置的扫描盒与加速管之间加装一光阑板，并在光阑板的中心位置开一圆孔，通过控制导向线圈的电流调节电子束流通过圆孔的束流量，从而实现了对电子束流大小的控制，该装置结构简单，操作方便，且调节幅度大，可方便的将束流减少2个数量级。

附图说明

图1是本实用新型电子束流大小的导向控制装置的结构示意图。

具体实施方式

下面将结合说明书附图，对本实用新型做进一步的说明。

如图1所示，一种电子束流大小的导向控制装置，包括加速管1，所述加速管1的下端连接有扫描盒7，所述加速管1上安装有用于调整束流偏移量的导向线圈3，所述加速管1与扫描盒7的连接处设置有光阑板4，所述光阑板4的中心开有圆孔41。通过在原有装置的扫描盒7与加速管1之间加装一光阑板4，并在光阑板4的中心位置开一圆孔41，通过控制导向线圈3的电流调节电子束流通过圆孔41的束流量，从而实现了对电子束流大小的控制，所述圆孔41的大小为能够让70%左右的束流顺利通过为宜，束流的边缘被光阑板4挡住、吸收。

所述光阑板4边缘四周为中空状，并设有通水孔42，通过通水孔42向光阑板4中加水，以便冷却被阻挡的电子束所发的热量，避免温升。

所述导向线圈3上方的加速管1上设置有聚焦线圈2，所述扫描盒的上部设有Y扫描线圈5和X扫描线圈6。

本实用新型提供的一种电子束流大小的导向控制装置，通过改变导向线圈的电流大小，调节束流通过圆孔的束流量，从而实现对电子束流大小的控制。

以上显示和描述了本实用新型的基本原理、主要特征及优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界。