[实用新型]透明光学元件表面缺陷的检测装置有效
申请号: | 201320030118.X | 申请日: | 2013-01-21 |
公开(公告)号: | CN203069531U | 公开(公告)日: | 2013-07-17 |
发明(设计)人: | 陈坚;吴周令;吴令奇;黄明 | 申请(专利权)人: | 合肥知常光电科技有限公司 |
主分类号: | G01N21/958 | 分类号: | G01N21/958 |
代理公司: | 合肥天明专利事务所 34115 | 代理人: | 金凯 |
地址: | 230031 安徽省合肥市高新*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 透明 光学 元件 表面 缺陷 检测 装置 | ||
1.透明光学元件表面缺陷的检测装置,包括有照明光源,其特征在于:还包括设置于照明光源发射端和透明光学元件入射侧面之间的照明光束整形处理装置,相对透明光学元件表面设置的成像检测系统。
2.根据权利要求1所述的透明光学元件表面缺陷的检测装置,其特征在于:所述的透明光学元件表面缺陷的检测装置还包括有相对透明光学元件出射侧面设置的照明光束吸收装置。
3.根据权利要求1所述的透明光学元件表面缺陷的检测装置,其特征在于:所述的透明光学元件表面缺陷的检测装置还包括有设置于成像检测系统后端的图像采集处理终端。
4.根据权利要求1所述的透明光学元件表面缺陷的检测装置,其特征在于:所述的成像检测系统包括有成像装置和探测装置,所述的探测装置设置于成像装置的后端。
5.根据权利要求1所述的透明光学元件表面缺陷的检测装置,其特征在于:所述的成像检测系统为一套或多套,多套成像检测系统分别相对透明光学元件表面的不同区域设置。
6.根据权利要求4所述的透明光学元件表面缺陷的检测装置,其特征在于:所述的成像装置选用透镜或透镜组;所述的探测装置选用CCD相机。
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