[实用新型]一种蒸镀用掩模组件有效
申请号: | 201320032693.3 | 申请日: | 2013-01-22 |
公开(公告)号: | CN203159695U | 公开(公告)日: | 2013-08-28 |
发明(设计)人: | 魏志凌;高小平;张炜平 | 申请(专利权)人: | 昆山允升吉光电科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/04 | 分类号: | C23C14/04;C23C14/24;H01L51/56 |
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地址: | 215300 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 蒸镀用掩 模组 | ||
技术领域
本实用新型属于电子印刷领域,具体而言,涉及一种蒸镀用掩模组件。
背景技术
有机电致发光二极管(Organic Light-Emitting Diode,OLED),与传统的液晶显示(Liquid Crystal Display, LCD)相比具有制造成本低(只有TFT-LCD的30%—40%)、可视范围宽(170度以上的视角)、反应时间快、使用温度范围广(-40°~80°)等突出优点,使得利用OLED技术所制成的显示器成为人们广泛关注的产品之一。
制造OLED显示器关键环节是将有机材料选择性地蒸镀到衬底上,因此需要蒸镀用的掩模组件,使有机材料淀积的图案与设计的图案相对应。目前小尺寸的OLED显示器的制作技术已经很成熟,而通过同时制作多个OLED显示器实现产量的提高,以及大尺寸的OLED显示器的制作,需要增大传统衬底的尺寸,相应的就需要增大掩模组件的尺寸。
传统技术中,制作大尺寸的OLED显示器的掩模组件如图1~图3所示,图1所示为传统蒸镀用掩模组件的组装示意图,10为掩模板,11为外框,101为掩模板上的掩模图案,对掩模板10施加张力的同时将掩模板焊接到外框11上,如图2所示为传统蒸镀用掩膜组件平面结构示意图,是将掩模板10焊接到外框11上的平面结构示意图,20为焊点。由于掩模板受到自身重力的影响,会产生下垂,导致掩膜组件整体结构发生变形,进而引起掩模图案101的变形,从而影响到蒸镀的质量,如图3所示为传统蒸镀用掩膜组件因掩模板下垂导致掩模组件变形的平面结构示意图。
有鉴于此,有必要提出一种掩膜组件,以克服掩模板下垂导致掩模板上的掩模图案变形的问题,提高蒸镀质量,进而提高OLED显示器的质量。
实用新型内容
有鉴于此,需要克服现有技术中的上述缺陷中的至少一个。本实用新型提供了一种蒸镀用掩模组件,包括外框、若干数量的支撑,其特征在于:
所述外框为两组对边形成的中空四边形结构,所述外框包括蒸镀面和掩模板安装面,所述蒸镀面为所述外框面对蒸镀源的一面,所述掩模板安装面为所述外框背离蒸镀源的一面;
所述支撑数量大于等于1,所述支撑跨过所述外框中空区域且两端分别固定安装在所述外框一组对边上。
根据本实用新型背景技术中对现有技术所述,如图1-3所示,由于掩模板受到自身重力的影响,会产生下垂,导致掩膜组件整体结构发生变形,进而引起掩模图案的变形,从而影响到蒸镀的质量;而采用本实用新型的蒸镀用掩模组件在使用过程中,由于所述支撑具有中间凸起两端低的弯曲结构特征,在掩模板受到自身重力作用出现下垂时,所述支撑能够具有良好的支撑作用,凸起部分能够对下垂起到补偿的作用,使掩模板在蒸镀过程中呈平整状态,而弯曲的各项参数则需要实验来具体确定。
另外,根据本实用新型公开的蒸镀用掩模组件还具有如下附加技术特征:
进一步地,所述支撑为中间凸起两端低的弯曲结构。
进一步地,所述外框和所述支撑是一体成型结构或拼接结构。
所述外框和所述支撑可以是使用机械加工或铸造等方法形成一体结构,所述外框和所述支撑也可以是独立个体,两者拼接形成的整体。
进一步地,所述外框是两组对边拼接结构或一体成型结构。
拼接结构可以使整体设计结构更加简单,但安装过程中,则可能造成精度上的损失。
进一步地,所述蒸镀面开口形状和所述掩模板安装面开口形状相似,且所述蒸镀面开口形状尺寸大于所述掩模板安装面开口形状尺寸。
优选地,联接所述蒸镀面与所述掩模板安装面之间为斜面或过渡曲面。
进一步地,所述支撑横截面为一端大于另一端的一端小一端大结构,小端与大端之间为斜线段或过渡曲线。。
在所述支撑靠近蒸镀源的一侧尺寸小于远离蒸镀源一侧的尺寸,这样在蒸镀工序中可以避免蒸镀源的遮蔽现象,提高蒸镀质量。
进一步地,所述外框放置所述支撑的一组对边上有缺口,所述支撑安装在所述缺口中。
缺口的增加可以使所述支撑更加稳固。
进一步地,所述蒸镀用掩模组件还包括掩模板,所述掩模板是整体一块或是数量大于等于1的可分拆组合的掩模板单元构成。
本实用新型还提供了一种采用所述蒸镀用掩模组件的掩模板安装方法,包括:
S1绷网定位:将掩模板进行绷网,并根据所述掩模板与所述蒸镀用掩膜组件的尺寸进行定位,以获得合格的产品;所述掩模板包括掩模图案,所述掩模图案透过所述外框与所述支撑形成的中空区域,避免蒸镀材料被遮挡。
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