[实用新型]一种激光干涉仪光程差定位系统

权利要求书

1.一种激光干涉仪光程差定位系统，其特征是，包括一个激光器、一个立方体分束器、一个作为定镜的平面反射镜、一个小角锥回射器、一个大角锥回射器、一个平面反射镜、一个直线平移台和一个光电二极管；所述立方体分束器位于所述激光器的出射光路上，所述作为定镜的平面反射镜位于所述立方体分束器反射光路上，所述小角锥回射器位于所述立方体分束器的透射光路上且锥角朝向所述立方体分束器，所述大角锥回射器位于所述小角锥回射器的透射光路上且锥角背向所述立方体分束器，所述大角锥回射器的直线往复扫描运动由其所处的直线平移台驱动，所述平面反射镜的反射面垂直所述大角锥回射器的回射光路，所述光电二极管位于所述立方体分束器出射光路上。

2.根据权利要求1所述的激光干涉仪光程差定位系统，其特征是，从垂直于所述大角锥回射器口径面上看进去，圆形口径被对称分成了大小相等的六个扇形区域，旋转调整角锥回射器，使得入射光、出射光均处于所述六个扇形区域中的对称的一对扇形区域内。

3.根据权利要求1或2所述的激光干涉仪光程差定位系统，其特征是，所述小角锥回射器和/或大角锥回射器为实心玻璃角锥回射器，所述实心玻璃角锥回射器的的正入射面加镀增透膜。

4.根据权利要求3所述的激光干涉仪光程差定位系统，其特征是，所述小角锥回射器和大角锥回射器的正入射面与光轴垂直面之间的夹角θ₁、θ₂为1-2度。

5.根据权利要求1或2所述的激光干涉仪光程差定位系统，其特征是，所述大角锥回射器和小角锥回射器为空心角锥回射器。