[实用新型]一种哑铃式柔性材料磁控溅射镀膜设备

权利要求书

1.一种哑铃式柔性材料磁控溅射镀膜设备，其特征是：包括由收卷真空腔体、放卷真空腔体和镀膜真空隧道；所述的镀膜真空隧道竖直设置，镀膜真空隧道的上端与收卷真空腔体连通，镀膜真空隧道的下端与放卷真空腔体连通；所述的镀膜真空隧道，至少一侧面上设有横向阴极布置区。

2.如权利要求1所述的哑铃式柔性材料磁控溅射镀膜设备，其特征是：所述的收卷真空腔体包括圆桶式真空腔体和腔门；真空腔体通过大阀与高真空抽气泵组在法兰口处连接。

3.如权利要求1所述的哑铃式柔性材料磁控溅射镀膜设备，其特征是：所述的放卷真空腔体包括第二圆桶式真空腔体、第二腔门和腔门滚轮组成，腔门滚轮安装在第二腔门的下部。

4.如权利要求1所述的哑铃式柔性材料磁控溅射镀膜设备，其特征是：所述的收卷真空腔体和放卷真空腔体之间设有与之相连通的旁通管。

5.如权利要求1所述的哑铃式柔性材料磁控溅射镀膜设备，其特征是：所述的镀膜真空隧道两侧面上均设有横向阴极布置区。

6.如权利要求2所述的哑铃式柔性材料磁控溅射镀膜设备，其特征是：高真空抽气泵组是带前级抽气系统的分子泵抽气系统或扩散泵抽气系统。

7.如权利要求2所述的哑铃式柔性材料磁控溅射镀膜设备，其特征是：所述的收卷真空腔体上还设有观察窗。

8.如权利要求3所述的哑铃式柔性材料磁控溅射镀膜设备，其特征是：所述的放卷真空腔体上还设有第二观察窗。