[实用新型]光纤谐振子真空传感器有效
| 申请号： | 201320045398.1 | 申请日： | 2013-01-22 |
| 公开（公告）号： | CN203178030U | 公开（公告）日： | 2013-09-04 |
| 发明（设计）人： | 夏忠诚;刘月明;吴刚;高晓良 | 申请（专利权）人： | 中国计量学院 |
| 主分类号： | G01L21/22 | 分类号： | G01L21/22;G01N21/45;B81C1/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 310018 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 光纤 谐振子 真空 传感器 | ||
【权利要求书】：
1.一种光纤谐振子真空传感器，包括：激光光源、探测器、光纤定向耦合器、匹配液和传感探头，其特征是：激光光源与光纤定向耦合器一侧的一个光纤端口光连接，探测器与光纤定向耦合器一侧的另一个光纤端口光连接，光纤定向耦合器另一侧的一个光纤端口与微梁谐振子光连接，光纤定向耦合器另一侧的另一个端口通过光纤浸入匹配液。
2.根据权利要求1所述的光纤谐振子真空传感器，其特征是：微梁谐振子的微梁结构位于光纤端面，包括固支端和微悬梁，固支端的一端与光纤固定，另一端与微悬梁固定，所述的固支端垂直于微悬梁，固支端与微悬梁的宽度相同。
3.根据权利要求1所述的光纤谐振子真空传感器，其特征是：微悬梁与光纤端面处于平行位置，微悬梁与光纤端面之间构成法布里-珀罗干涉腔(F-P腔)作为谐振检测器件。
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