[实用新型]一种异物检查处理装置及曝光机

权利要求书

1.一种异物检查处理装置，用于对基板上的异物进行检查和处理，其特征在于，包括：

承载台，用于承载基板；

设置在基板两侧的光源，所述光源设置在所述承载台上；

设置在所述承载台上的固定架；

设置在所述固定架上的第一图像传感器，用于捕捉由基板上的异物经所述光源照射而发生散射的光线、并成像，以获得异物的位置和面积信息，并可在所述基板相对应的上方区域内移动；

设置在所述固定架上的异物处理组件，用于对检测到的异物进行处理，减小基板上的异物的高度，以使得异物的高度小于第一预设值。

2.根据权利要求1所述的异物检查处理装置，其特征在于，所述异物处理组件包括：

设置在所述固定架上的第二图像传感器，用于在基板上的异物的面积大于第二预设值时，测量捕捉由基板上的异物经所述光源照射而发生散射的光线、并成像，以获得异物的高度信息；

研磨机构，用于在异物高度超过所述第一预设值时，通过研磨使得异物的高度小于第一预设值。

3.根据权利要求2所述的异物检查处理装置，其特征在于，所述异物处理组件还包括：

用于通过烧蚀清除异物的激光发射装置。

4.根据权利要求3所述的异物检查处理装置，其特征在于，所述固定架上设有与所述承载台平行设置的多条导轨，所述第一图像传感器和所述异物处理组件设置在所述导轨上。

5.根据权利要求4所述的异物检查处理装置，其特征在于，所述异物处理组件还包括：

与所述导轨连接的连接部；

与所述连接部连接的安装部，用于设置所述研磨机构和/或激光发射部件和/或所述第二图像传感器。

6.根据权利要求5所述的异物检查处理装置，其特征在于，所述研磨机构包括设置在所述安装部的转轮，以及缠绕在所述转轮上的、用于研磨异物的卷带。

7.根据权利要求2-6任一项所述的异物检查处理装置，其特征在于，所述第二图像传感器为所述第一图像传感器。

8.一种曝光机，其特征在于，包括权利要求1-7任一项所述的异物检查处理装置。