[实用新型]可用于材料精细加工的266nm全固态紫外激光器

权利要求书

1.一种可用于材料精细加工的266nm全固态紫外激光器，包括：激光谐振腔（1）、第一声光Q开关（2a）、第二声光Q开关（2b）、第一LD侧面泵浦模块（3a）、第二LD侧面泵浦模块（3b）、90°旋光晶体（4）、二倍频晶体（5）、凸透镜组（6）、四倍频晶体（7）、二向色镜组（8）、柱面镜（9）和控制系统（10），其中，所述第一声光Q开关（2a）和第二声光Q开关（2b）分别在第一LD侧面泵浦模块（3a）和第二LD侧面泵浦模块（3b）两侧正交放置，第一声光Q开关（2a）、第二声光Q开关（2b）、第一LD侧面泵浦模块（3a）、第二LD侧面泵浦模块（3b）和90°旋光晶体（4）位于所述激光谐振腔（1）内，且对称放置，二倍频晶体（5）位于激光谐振腔（1）内紧邻输出端镜放置，所述凸透镜组（6）、四倍频晶体（7）、二向色镜组（8）和柱面镜（9）在激光谐振腔（1）外依次按照光路输出方向共线放置，所述控制系统（10）与所述第一声光Q开关（2a）、第二声光Q开关（2b）、第一LD侧面泵浦模块（3a）和第二LD侧面泵浦模块（3b）连接。

2.如权利要求1所述的激光器，其特征在于，所述第一LD侧面泵浦模块（3a）、第二LD侧面泵浦模块（3b）和采用两个相同的808nmLD侧面泵浦模块，两个相同的Nd:YAG晶体棒作为激光增益介质，通过串接方式连接实现对应波长为1064nm的基频光振荡。

3.如权利要求1所述的激光器，其特征在于，所采用的居中放置在第一LD侧面泵浦模块和第二LD侧面泵浦模块之间，实现热致双折射补偿的90°旋光晶体（4），采用两个正透镜组成的4f系统和90°旋光晶体共同进行热致双折射效应补偿。

4.如权利要求1所述的激光器，其特征在于，所述二倍频晶体（5）是指用于1064nm基频光进行波长倍频用的非线性光学晶体，包括KTP和LBO的非线性光学晶体。

5.如权利要求1所述的激光器，其特征在于，所述凸透镜组（6）由第一凸透镜（6a）和第二凸透镜（6b）组成望远镜结构。

6.如权利要求1所述的激光器，其特征在于，所述四倍频晶体（7）是用于532nm基频光进行波长倍频用的非线性光学晶体，包括BBO和CLBO的非线性光学晶体。

7.如权利要求1所述的激光器，其特征在于，所述二向色镜组（8）包括第一二向色镜（8a）和第二二向色镜（8b），均以45°放置。

8.如权利要求1所述的激光器，其特征在于，所述控制系统（10）包括双声光Q开关同步控制器件和两个泵浦模块控制器件。

9.如权利要求1所述的激光器，其特征在于，所述谐振腔采用平-平直腔结构。