[实用新型]测量装置有效
申请号: | 201320061818.5 | 申请日: | 2013-02-01 |
公开(公告)号: | CN203100717U | 公开(公告)日: | 2013-07-31 |
发明(设计)人: | 姜巍 | 申请(专利权)人: | 中芯国际集成电路制造(北京)有限公司 |
主分类号: | G01B21/16 | 分类号: | G01B21/16 |
代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人: | 屈蘅;李时云 |
地址: | 100176 北京市大兴区*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 测量 装置 | ||
一种测量装置,其特征在于,包括底座、测量辅助板、两块间隔设置的第一限位块和一块第二限位块,所述测量辅助板铺设于所述底座上,所述测量辅助板的一个表面上设有两个辅助测量部,所述辅助测量部与所述第一限位块一一对应,所述第二限位块的工作面与其中一块第一限位块的工作面垂直相交。
根据权利要求1所述的测量装置,其特征在于,所述测量辅助板和底座之间设有第一垫块。
根据权利要求1所述的测量装置,其特征在于,所述底座上还设有用于支撑被测掩模板的第二垫块。
根据权利要求1所述的测量装置,其特征在于,所述辅助测量部呈“丰”字型。
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