[实用新型]一种真空腔室U型包网挡板

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种真空腔室U型包网挡板。

背景技术

  在磁控溅射镀膜的真空腔室中，阴极位与分子泵位之间设置有窗口板，该窗口板上开设有多个孔从而将磁控溅射镀膜过程中产生的废气排出，以保证真空腔室中的真空度。然而窗口板上常有磁控溅射物的附着，在使用前需要对其进行打磨，换靶的工作量较大，此外，窗口板的表面往往设置的比较光滑，其表面对磁控溅射物的吸附能力不强，生产过程中容易出现崩渣和掉渣的现象，严重地影响了产品的生产效率和生产质量。

发明内容

本实用新型的目的是提供一种真空腔室U型包网挡板，该包网挡板在吸附磁控溅射物后易于更换和清洁，有效地提高了磁控溅射产品的生产效率和生产质量。

为达到上述目的，本实用新型采用的技术方案是：一种真空腔室U型包网挡板，所述包网挡板包括不锈钢材料制成的挡板本体，所述挡板本体呈U字型，所述挡板本体的底部开设有多个通孔，所述挡板本体的外侧周部上包设有不锈钢网。

优选地，所述挡板本体上所述U字型的开口两端分别向两侧折弯。

由于上述技术方案的运用，本实用新型与现有技术相比具有下列优点：本实用新型的一种真空腔室U型包网挡板，通过将挡板本体设置成U字型，并挡板本体上U字型开口的底部开设多个通孔，同时在挡板本体的外侧周部上包设不锈钢网，将该U型包网挡板设置于磁控溅射镀膜的真空腔室中，将其置于阴极位与分子泵位之间，真空腔室中产生的气体从通孔中排出，磁控溅射物则能够很好地附着至U型包网挡板的不锈钢网上形成积渣，这有效地减少了积渣发生崩渣、掉渣的现象。当不锈钢网上的积渣达到一定值时，可方便地将该U型包网挡板取出，对其进行拆卸喷砂即可将附着在不锈钢网上的积渣清除掉，其清理过程方便、快捷，减少了换靶的频率，换靶后也无需打磨，大幅地提高了磁控溅射产品的生产效率，同时也保证了产品的生产质量。

附图说明

附图1为本实用新型的整体结构示意图；

附图2为本实用新型的主视结构示意图；

附图3为附图2中A-A部剖视结构放大示意图。

具体实施方式

下面结合附图来对本实用新型的技术方案作进一步的阐述。

参见图1～3所示的一种真空腔室U型包网挡板，该包网挡板包括不锈钢材质制成的挡板本体1，挡板本体1呈U字型，该挡板本体1的底部开设有多个通孔2，挡板本体1的外侧周部上还包设有不锈钢网（图中未示出），挡板本体1上U字型开口的两端分别向两侧折弯形成折弯部3。将该U型包网挡板应用于磁控溅射镀膜的真空腔室中，将其置于阴极位与分子泵位之间，并将挡板本体1的U字型底部朝向阴极位，真空腔室中产生的气体通过通孔2排出该腔室，挡板本体1的U字型槽内可放置真空溅射生产中的其他部件。

由于挡板本体1上包有不锈钢网，磁控溅射物能够很好地附着在该不锈钢网上，能够有效地减少磁控溅射物在不锈钢网上形成的积渣发生的崩渣、掉渣现象。此外，折弯部3能够将阴极位与分子泵位完全隔开，磁控溅射物也能够基本上全部附着到该包网挡板上，避免磁控溅射物溅射至其他部件上。当该U型包网挡板上的磁控溅射物形成的积渣达到一定值时，则将该U型包网挡板取出，对其进行拆卸喷砂即可将附着在不锈钢网上的积渣清除掉，其清理过程方便、快捷，减少了换靶的频次，换靶后也无需打磨，大幅地提高了磁控溅射产品的生产效率，同时也保证了产品的生产质量。

上述实施例只为说明本实用新型的技术构思及特点，其目的在于让熟悉此项技术的人士能够了解本实用新型的内容并据以实施，并不能以此限制本实用新型的保护范围。凡根据本实用新型精神实质所作的等效变化或修饰，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。