[实用新型]硅片花篮夹具有效
申请号: | 201320067211.8 | 申请日: | 2013-02-05 |
公开(公告)号: | CN203150532U | 公开(公告)日: | 2013-08-21 |
发明(设计)人: | 张允良;杨毓;王朝辉;邢国政;杨雷;王步峰 | 申请(专利权)人: | 润峰电力有限公司 |
主分类号: | H01L21/687 | 分类号: | H01L21/687;H01L31/18 |
代理公司: | 济南圣达知识产权代理有限公司 37221 | 代理人: | 杨琪 |
地址: | 277600 山东省济*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 硅片 花篮 夹具 | ||
1.一种硅片花篮夹具,其特征在于,包括呈倒置“Y”字型的夹具主体,所述夹具主体的顶端设有与其垂直连接的把手,所述夹具主体的两个开口端分别向内弯曲形成下底边水平的卡槽。
2.根据权利要求1所述的硅片花篮夹具,其特征在于,所述硅片花篮夹具采用聚丙烯制成。
3.根据权利要求1所述的硅片花篮夹具,其特征在于,所述夹具主体的上半部分为一178mm×30mm×15mm的长方体长杆,所述长方体长杆与夹具主体的两个开口端之间的夹角分别为120°。
4.根据权利要求1所述的硅片花篮夹具,其特征在于,所述夹具主体的开口端长度为104mm,宽度为15mm,厚度为20mm。
5.根据权利要求1所述的硅片花篮夹具,其特征在于,所述夹具主体的开口端末端为一竖直段,所述竖直段的长度为30mm。
6.根据权利要求1所述的硅片花篮夹具,其特征在于,所述卡槽的下底边与夹具主体的开口端末端之间以竖直段连接,所述竖直段的长度为5mm。
7.根据权利要求1所述的硅片花篮夹具,其特征在于,所述卡槽的下底边下侧长度为20mm,上侧长度为10mm,厚度为10mm,且向前后两侧水平延伸,延伸长度共50mm。
8.根据权利要求1所述的硅片花篮夹具,其特征在于,所述把手的长度为90mm,宽度为15mm,厚度为30mm,且把手关于夹具主体的中心线呈轴对称。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造