[实用新型]硅片花篮夹具有效

专利信息
申请号: 201320067211.8 申请日: 2013-02-05
公开(公告)号: CN203150532U 公开(公告)日: 2013-08-21
发明(设计)人: 张允良;杨毓;王朝辉;邢国政;杨雷;王步峰 申请(专利权)人: 润峰电力有限公司
主分类号: H01L21/687 分类号: H01L21/687;H01L31/18
代理公司: 济南圣达知识产权代理有限公司 37221 代理人: 杨琪
地址: 277600 山东省济*** 国省代码: 山东;37
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摘要:
搜索关键词: 硅片 花篮 夹具
【权利要求书】:

1.一种硅片花篮夹具,其特征在于,包括呈倒置“Y”字型的夹具主体,所述夹具主体的顶端设有与其垂直连接的把手,所述夹具主体的两个开口端分别向内弯曲形成下底边水平的卡槽。

2.根据权利要求1所述的硅片花篮夹具,其特征在于,所述硅片花篮夹具采用聚丙烯制成。

3.根据权利要求1所述的硅片花篮夹具,其特征在于,所述夹具主体的上半部分为一178mm×30mm×15mm的长方体长杆,所述长方体长杆与夹具主体的两个开口端之间的夹角分别为120°。

4.根据权利要求1所述的硅片花篮夹具,其特征在于,所述夹具主体的开口端长度为104mm,宽度为15mm,厚度为20mm。

5.根据权利要求1所述的硅片花篮夹具,其特征在于,所述夹具主体的开口端末端为一竖直段,所述竖直段的长度为30mm。

6.根据权利要求1所述的硅片花篮夹具,其特征在于,所述卡槽的下底边与夹具主体的开口端末端之间以竖直段连接,所述竖直段的长度为5mm。

7.根据权利要求1所述的硅片花篮夹具,其特征在于,所述卡槽的下底边下侧长度为20mm,上侧长度为10mm,厚度为10mm,且向前后两侧水平延伸,延伸长度共50mm。

8.根据权利要求1所述的硅片花篮夹具,其特征在于,所述把手的长度为90mm,宽度为15mm,厚度为30mm,且把手关于夹具主体的中心线呈轴对称。

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