[实用新型]切割硅块的专用工具

说明书

技术领域

本实用新型涉及硅片生产加工技术领域，特别是涉及一种切割硅块的专用工具。

背景技术

硅片是由硅块通过线切割设备加工而成。

请参考图1和图2，图1为硅块切割时的工作状态示意图，图中箭头所示方向为硅块的在切割时的运动方向；图2为现有技术中一种典型切割硅块的专用工具的结构示意图。

如图1所示，硅块11在工作台13的作用下向下运动，经过钢线12并被钢线12切割。为了能够实现硅块切割时的平稳入刀，一般会在硅块切割面粘接树脂导向条16，由于树脂导向条16的硬度比硅块低，所以能够实现钢线切割的平稳过渡。

图2所示的专用工具，包括切割硅块11的钢线12，和两个平行且均固定连接有硅块11的工作台13（图中所示为工作台13的卡具），在工作台13上装载有金属粘接板14，在金属粘接板14和硅块11之间粘接有磨砂玻璃15。钢线12用于将硅块11通过线切割技术加工特定厚度硅片；金属粘接板14用于和机床工作台卡具安装固定的工件，是长期使用的非耗材；磨砂玻璃15在硅片切割过程中粘接在金属粘接板14和硅块11中间，其硬度和硅块11相似，起到切割的过度作用，防止硅块11切透后损伤到金属粘接板14，磨砂玻璃15为一次性用品，是耗材，切割完成后废弃。

由于硅片的切割方式为线切割，那么在线切到最后的时候会产生线弓，此线弓很容易切透玻璃15伤及粘接板14。为避免粘接板14被切伤，可以对机床硬件进行改动，改变粘接板14的原有结构，此过程容易降低了粘接板14的使用寿命。

因此，确保粘接板在切割中的使用寿命，是本领域技术人员目前需要解决的技术问题。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种切割硅块的专用工具，可以确保粘接板在切割过程中不被切伤，不影响其使用寿命。

为实现上述实用新型目的，本实用新型提供一种切割硅块的专用工具，包括固定硅块的工作台，与所述工作台固定连接的粘接板，以及设于所述粘接板和所述硅块之间的玻璃，所述玻璃沿其宽度方向的一侧厚度小于另一侧厚度。

优选地，所述玻璃沿其厚度方向的截面为直角梯形。

优选地，所述玻璃为磨砂玻璃。

优选地，所述玻璃一侧与另一侧的厚度差为1.5-3mm。

优选地，所述玻璃一侧与另一侧的厚度差为1.7-2.3mm。

本实用新型所提供的专用工具，用于采用倾斜方式切割硅块，该专用工具包括固定硅块的工作台，与所述工作台固定连接的粘接板，以及设于所述粘接板和所述硅块之间的玻璃，与现有技术不同的是，所述玻璃沿其宽度方向的一侧厚度小于另一侧厚度。在切割硅块时，玻璃是耗材，使用一次即废弃；而粘接板是非耗材，会一直使用。本实用新型所提供的专用工具中玻璃具有向一侧倾斜的形状，将倾斜的玻璃固定在硅块和粘接板之间，硅块也向一侧倾斜，可以实现硅块倾斜切割。钢线切割时，从玻璃较厚的一侧切入，虽然在切割过程中会产生线弓，但可以根据线弓的弯曲度确定玻璃另一侧的厚度，确保在钢线有线弓的前提下，钢线离开玻璃时仍不能完全沿厚度方向切透玻璃，使钢线不能触及粘接板，确保粘接板的使用安全。这样，作为耗材的玻璃被切破，但作为非耗材的粘接板却不会受到影响，保护了粘接板的结构，粘接板的使用寿命有保障。

同时，仅改变玻璃的结构就可以实现倾斜切割，不需要对现有的机床硬件进行改动，也不需要改变粘接板的现有结构，粘接板的使用寿命有保障，本实用新型所提供的专用工具实现成本低。

在一种优选的实施方式中，所述玻璃沿其厚度方向的截面为直角梯形。玻璃的两侧厚度虽然不一样，但却是渐变的规则形状，使粘接板和硅块与玻璃固定在一起时便于固定，易于实现。

附图说明

图1为硅块切割时的工作状态示意图；

图2为现有技术中一种典型切割硅块的专用工具的结构示意图；

图3为本实用新型所提供切割砖块的专用工具一种具体实施方式的结构示意图；

图4为本实用新型所提供玻璃一种具体实施方式的立体视图。

具体实施方式

本实用新型的核心是提供一种切割硅块的专用工具，刀具可以确保粘接板在切割过程中不被切伤，不影响其使用寿命。

为了使本技术领域的人员更好地理解本实用新型方案，下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步的详细说明。

请参考图3和图4，图3为本实用新型所提供切割砖块的专用工具一种具体实施方式的结构示意图；图4为本实用新型所提供玻璃一种具体实施方式的立体视图，图中a方向代表玻璃的长度方向，b方向代表玻璃的宽度方向，c方向代表玻璃的厚度方向。