[实用新型]差分式声表面波温度传感器

权利要求书

1.一种差分式声表面波温度传感器，包括壳体（1）、壳盖（2）、压电基片（3）、第一声表面波谐振器（4）和第二声表面波谐振器（6），所述压电基片（3）固定在壳体（1）内的底部，所述壳体（1）和壳盖（2）密封连接，其特征在于：还包括第一压电薄膜（5），所述第一声表面波谐振器（4）设在压电基片（3）的表面，而第一压电薄膜（5）设在压电基片（3）的剩余表面和第一声表面波谐振器（4）的表面以及外周之上，所述第二声表面波谐振器（6）设在第一压电薄膜（5）的表面。

2.根据权利要求1所述的差分式声表面波温度传感器，其特征在于：所述壳体（1）和壳盖（2）分别是金属壳体和金属壳盖，或者分别是陶瓷壳体和金属壳盖。

3.根据权利要求1所述的差分式声表面波温度传感器，其特征在于：所述第一压电薄膜（5）是氧化锌或者是氮化铝，压电基片（3）是石英、或者是铌酸锂、或者是钽酸锂，或者是金刚石。

4.根据权利要求1所述的差分式声表面波温度传感器，其特征在于：所述第一声表面波谐振器（4）与第二声表面波谐振器（6）在竖直方向的投影相互重合或者部分重叠或者相交。

5.根据权利要求1所述的差分式声表面波温度传感器，其特征在于：所述第一声表面波谐振器（4）与第二声表面波谐振器（6）在竖直方向的投影相交时，两者的夹角在 0°~180°范围内。

6.一种差分式声表面波温度传感器，包括壳体（1）、壳盖（2）、第一声表面波谐振器（4）和第二声表面波谐振器（6），所述壳体（1）和壳盖（2）密封连接，其特征在于：还包括衬底基片（3’）、第一压电薄膜（5）和第二压电薄膜（8），所述衬底基片（3’）固定在壳体（1）内的底部，第二压电薄膜（8）设在衬底基片（3’）的表面，第一声表面波谐振器（4）设在第二压电薄膜（8）上，第一压电薄膜（5）设在第二压电薄膜（8）的剩余表面和第一声表面波谐振器（4）的表面以及外周，所述第二声表面波谐振器（6）设在第一压电薄膜（5）的表面。

7.根据权利要求6所述的差分式声表面波温度传感器，其特征在于：所述壳体（1）和壳盖（2）分别是金属壳体和金属壳盖，或者分别是陶瓷壳体和金属壳盖。

8.根据权利要求6所述的差分式声表面波温度传感器，其特征在于：所述第一压电薄膜（5）是氧化锌或者是氮化铝，第二压电薄膜（8）是二氧化硅，衬底基片（3’）是硅晶体。

9.根据权利要求6所述的差分式声表面波温度传感器，其特征在于：所述第一声表面波谐振器（4）与第二声表面波谐振器（6）在竖直方向的投影相互重合或者部分重叠或者相交。

10.根据权利要求6所述的差分式声表面波温度传感器，其特征在于：所述第一声表面波谐振器（4）与第二声表面波谐振器（6）在竖直方向的投影相交时，两者的夹角在 0°~180°范围内。

11.一种差分式声表面波温度传感器，包括壳体（1）、壳盖（2）、第一声表面波谐振器（4）和第二声表面波谐振器（6），所述壳体（1）和壳盖（2）密封连接，其特征在于：还包括压电基片（3）、第一压电薄膜（5）和第二压电薄膜（8），所述压电基片（3）固定在壳体（1）内的底部，第二压电薄膜（8）设在压电基片（3）的表面，第一声表面波谐振器（4）设在第二压电薄膜（8）上，第一压电薄膜（5）设在第二压电薄膜（8）的剩余表面和第一声表面波谐振器（4）的表面以及外周，所述第二声表面波谐振器（6）设在第一压电薄膜（5）的表面。

12.根据权利要求11所述的差分式声表面波温度传感器，其特征在于：所述壳体（1）和壳盖（2）分别是金属壳体和金属壳盖，或者分别是陶瓷壳体和金属壳盖。

13.根据权利要求11所述的差分式声表面波温度传感器，其特征在于：所述第一压电薄膜（5）是氧化锌，而第二压电薄膜（8）是氮化铝；或者所述第一压电薄膜（5）是氮化铝，而第二压电薄膜（8）是氧化锌，压电基片（3）是金刚石。

14.根据权利要求11所述的差分式声表面波温度传感器，其特征在于：所述第一声表面波谐振器（4）与第二声表面波谐振器（6）在竖直方向的投影相互重合或者部分重叠或者相交。

15.根据权利要求11所述的差分式声表面波温度传感器，其特征在于：所述第一声表面波谐振器（4）与第二声表面波谐振器（6）在竖直方向的投影相交时，两者的夹角在 0°~180°范围内。