[实用新型]复合基板以及功能元件

权利要求书

1.一种复合基板，其特征在于，是一种具有晶种基板以及氮化镓膜的复合基板，

所述晶种基板由通过荧光显微镜观察看到黄色发光效果的氮化镓构成，所述氮化镓膜是在所述晶种基板上通过助熔剂法在含氮气氛下由熔液育成、没有看到所述黄色发光效果的膜，

所述复合基板包括被设置于自所述氮化镓膜的所述晶种基板侧的界面起50μm以下的区域的分布有源自所述熔液的成分的夹杂物的夹杂物分布层和被设置于该夹杂物分布层上的缺乏所述夹杂物的夹杂物缺乏层。

2.根据权利要求1所述的复合基板，其特征在于，沿着所述氮化镓膜的横截面观察时，所述夹杂物分布层中的所述夹杂物的最大面积在60μm²以下。

3.根据权利要求1或2所述的复合基板，其特征在于，所述氮化镓膜中含有锗、硅、氧中的至少1个，显示为n型。

4.根据权利要求1~3的任意一项所述的复合基板，其特征在于，以所述夹杂物分布层的厚度为1时，所述夹杂物缺乏层的厚度为20~0.1。

5.一种功能元件，其特征在于，具备权利要求1~4的任意一项所述的复合基板以及在所述氮化镓膜上通过气相法形成的由13族元素氮化物膜构成的功能层。

6.根据权利要求5所述的功能元件，其特征在于，所述功能层具有发光功能。