[实用新型]一种高效加热装置有效
申请号: | 201320078039.6 | 申请日: | 2013-02-20 |
公开(公告)号: | CN203200335U | 公开(公告)日: | 2013-09-18 |
发明(设计)人: | 陈道理 | 申请(专利权)人: | 盱眙新远光学科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/26 | 分类号: | C23C14/26 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 211751 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 高效 加热 装置 | ||
技术领域
本实用新型涉及一种高效加热装置,应用于薄膜制备领域。
背景技术
在薄膜制备过程中,需要很强的功率才会使金属材料从固体状态蒸发汽化。但是现有的钼舟容器往往比较浅矮,这样金属材料往往在加热过程中容易溅出钼舟外,这样容易浪费宝贵的金属材料,影响有效工件。另一方面,钼舟也不能加大功率,来缩短蒸发时间,因为这样可能会导致金属材料在钼舟内加热时间过长使有效工件完全烤焦而不能使用。
故,需要一种新的加热装置以解决上述问题。
实用新型内容
本实用新型的目的是针对现有技术存在的不足,提供一种使用方便、经济实用的高效加热装置。
为实现上述发明目的,本实用新型高效加热装置可采用如下技术方案:
一种高效加热装置,包括盖体和钼舟,所述钼舟的中部设置有槽体,所述盖体为螺旋形钨丝,所述盖体的两端缠绕在所述槽体的两端。
更进一步的,所述钨丝的直径为0.5-1.5mm。
更进一步的,所述钼舟可替换为钨舟。
有益效果:本实用新型的高效加热装置增加了与材料的接触面,节省了蒸发时间,也能减少材料溅出钼舟,节省材料。
附图说明
图1是本实用新型的高效加热装置的结构示意图。
具体实施方式
下面结合附图和具体实施例,进一步阐明本实用新型,应理解这些实施例仅用于说明本实用新型而不用于限制本实用新型的范围,在阅读了本实用新型之后,本领域技术人员对本实用新型的各种等价形式的修改均落于本申请所附权利要求所限定的范围。
请参阅图1所示,本实用新型的高效加热装置,包括盖体1和钼舟2,钼舟2的中部设置有槽体。其中,盖体1为螺旋形钨丝。盖体1的两端缠绕在钼舟2的槽体两端。其中,钨丝的直径为0.5-1.5mm。钼舟2也可以替换为钨舟。
本实用新型的高效加热装置增加了与材料的接触面,节省了蒸发时间,也能减少材 料溅出钼舟,节省材料。
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