[实用新型]一种多晶硅铸锭炉底部电磁感应加热系统

权利要求书

1.一种多晶硅铸锭炉底部电磁感应加热系统，其包括坩埚、外部隔热层、顶部加热器、四周加热器，所述坩埚、顶部加热器、四周加热器均位于所述外部隔热层所形成的腔体内，所述顶部加热器位于所述坩埚的上方，所述四周加热器分别位于所述坩埚的四周，其特征在于：所述坩埚的底部支承于发热体，所述发热体支承于保温绝热层，所述保温绝热层的底部布置有电磁感应线圈，所述电磁感应线圈外接电源，所述电源外接有电源控制器，所述发热体的底部设置有温度传感器，所述温度传感器外接于所述电源控制器。

2.根据权利要求1所述的一种多晶硅铸锭炉底部电磁感应加热系统，其特征在于：所述发热体具体为石墨板。

3.根据权利要求1所述的一种多晶硅铸锭炉底部电磁感应加热系统，其特征在于：所述电源提供电磁感应线圈的电流为交变电流。

4.根据权利要求1所述的一种多晶硅铸锭炉底部电磁感应加热系统，其特征在于：所述电磁感应线圈可以是一组电磁感应线圈，也可以为旋向相同的至少两组电磁感应线圈组成。

5.根据权利要求1所述的一种多晶硅铸锭炉底部电磁感应加热系统，其特征在于：所述电磁感应线圈平面布置于所述保温绝热层的底部。

6.根据权利要求1所述的一种多晶硅铸锭炉底部电磁感应加热系统，其特征在于：所述电磁感应线圈具体为空心铜管螺旋布置而成。

7.根据权利要求6所述的一种多晶硅铸锭炉底部电磁感应加热系统，其特征在于：所述空心铜管螺旋布置而成的电磁感应线圈内腔装有冷却水。