[实用新型]一种曝光机用空冷系统有效
| 申请号： | 201320086307.9 | 申请日： | 2013-02-26 |
| 公开（公告）号： | CN203217243U | 公开（公告）日： | 2013-09-25 |
| 发明（设计）人： | 汤池萌 | 申请（专利权）人： | 东莞市光纪光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;F21V29/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 523000 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 曝光 机用空冷 系统 | ||
【权利要求书】：
1.一种曝光机用空冷系统，其特征在于：包括有压缩机、水箱以及至少一蒸发器；该压缩机的出气口连接水箱的进气口，该水箱的出气口连接蒸发器的进气口，该蒸发器的出气口连接压缩机的进气口；以及，该水箱的出气口到蒸发器的进气口之间依序设置有过滤器、第一电磁阀和膨胀阀。
2.根据权利要求1所述的曝光机用空冷系统，其特征在于：所述压缩机的出气口与蒸发器的进气口连接，且该压缩机的出气口与蒸发器的进气口之间设置有第二电磁阀。
3.根据权利要求1所述的曝光机用空冷系统，其特征在于：所述蒸发器为两个，该两个蒸发器的进气口处均设置有一前述膨胀阀，该两膨胀阀并联连接后与前述第一电磁阀和过滤器串联连接。
4.根据权利要求1所述的曝光机用空冷系统，其特征在于：所述第一电磁阀的侧旁设置有用于监测冷媒压力的压力表。
5.根据权利要求1所述的曝光机用空冷系统，其特征在于：所述蒸发器的侧旁设置有用于将蒸发器周围的冷气吹出的风机。
6.根据权利要求1所述的曝光机用空冷系统，其特征在于：所述水箱具有进水口和出水口，该出水口处设置有制水阀。
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