[实用新型]一种磁场均匀镀膜调节装置有效
| 申请号： | 201320089079.0 | 申请日： | 2013-02-27 |
| 公开（公告）号： | CN203096163U | 公开（公告）日： | 2013-07-31 |
| 发明（设计）人： | 余松霖;周学卿;刘志杰 | 申请（专利权）人： | 东莞汇海光电科技实业有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 523000 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 磁场 均匀 镀膜 调节 装置 | ||
【权利要求书】：
一种磁场均匀镀膜调节装置，包括阴极底座，阴极底座上安装有阴极靶，其特征在于：阴极底座与磁铁相向隔离设置，磁铁上设有至少两块可移动的磁铁背板，磁铁背板外侧连接有调节装置。
根据权利要求1所述的磁场均匀镀膜调节装置，其特征在于：所述的调节装置包括固定在磁体背板两端的调节螺栓和调节螺栓上的固定压板。
根据权利要求1所述的磁场均匀镀膜调节装置，其特征在于：所述的调节螺栓上带有长度的刻度标识。
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