[实用新型]一种铬基石英晶体微天平传感器有效

专利信息
申请号: 201320090048.7 申请日: 2013-02-28
公开(公告)号: CN203132941U 公开(公告)日: 2013-08-14
发明(设计)人: 曹忠;曹婷婷;高妮;罗永丰;龙姝 申请(专利权)人: 长沙理工大学
主分类号: G01N5/00 分类号: G01N5/00;C23C14/04
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 410004 湖南省长沙市雨花区万家*** 国省代码: 湖南;43
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摘要:
搜索关键词: 一种 基石 晶体 天平 传感器
【权利要求书】:

1.一种铬基石英晶体微天平传感器,其特征是:该传感器包括一个石英晶体片(1),所述石英晶体片(1)表面是镀铬膜层(2),所述镀铬膜层(2)表面是镀金膜层(3),形成一种铬基石英晶体微天平传感器。

2.根据权利要求1所述的石英晶体微天平传感器,其特征在于所述镀铬膜层(2)厚度为1 ~ 50 nm。

3. 根据权利要求1所述的石英晶体微天平传感器,其特征在于所述镀金膜层(3)厚度为20 ~ 400 nm。

4. 根据权利要求1所述的石英晶体微天平传感器,其特征在于所述石英晶体片(1)为AT切型石英晶体,其基频为4 ~ 50 MHz。

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