[实用新型]一种铬基石英晶体微天平传感器有效
申请号: | 201320090048.7 | 申请日: | 2013-02-28 |
公开(公告)号: | CN203132941U | 公开(公告)日: | 2013-08-14 |
发明(设计)人: | 曹忠;曹婷婷;高妮;罗永丰;龙姝 | 申请(专利权)人: | 长沙理工大学 |
主分类号: | G01N5/00 | 分类号: | G01N5/00;C23C14/04 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 410004 湖南省长沙市雨花区万家*** | 国省代码: | 湖南;43 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 基石 晶体 天平 传感器 | ||
1.一种铬基石英晶体微天平传感器,其特征是:该传感器包括一个石英晶体片(1),所述石英晶体片(1)表面是镀铬膜层(2),所述镀铬膜层(2)表面是镀金膜层(3),形成一种铬基石英晶体微天平传感器。
2.根据权利要求1所述的石英晶体微天平传感器,其特征在于所述镀铬膜层(2)厚度为1 ~ 50 nm。
3. 根据权利要求1所述的石英晶体微天平传感器,其特征在于所述镀金膜层(3)厚度为20 ~ 400 nm。
4. 根据权利要求1所述的石英晶体微天平传感器,其特征在于所述石英晶体片(1)为AT切型石英晶体,其基频为4 ~ 50 MHz。
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