[实用新型]一种铬基银膜石英晶体微天平传感器

说明书

本实用新型属于传感检测技术领域，涉及一种铬基银膜石英晶体微天平传感器。

石英晶体微天平（Quartz crystal microbalance, QCM）是一种新型传感测量技术，它是利用石英晶体谐振频率的变化与晶体电极表面沉积的物质质量之间成正比例关系，可检测电极表面ng甚至pg级的质量变化及溶液的粘度、密度、阻抗、介电常数等参数的变化，因具有灵敏度高、响应快速、操作简便和价格低廉的特点而广泛应用于大气污染物、生物分子等物质的检测。

石英晶体微天平传感器的核心部件是石英晶体片上金属电极的安装使用，目前较通用的电极材料为金（Au），金价格昂贵，使其应用受到限制；然而，金属银（Ag）价格比金便宜，且不与稀硫酸、盐酸、碱金属氢氧化物、碱金属碳酸盐等发生反应，具有良好的耐酸、耐碱性能，是一种潜在的良好电极材料。因此用银替代金，即在石英晶体片上加镀金属铬层后再镀上银层，加镀的铬层能增强电极材料与石英晶体片之间的附着力，也具有耐腐蚀性和稳定性，将降低石英晶体微天平传感器的制作成本，使应用拓宽。

本实用新型的目的在于提供一种石英晶体微天平传感器，电极材料采用铬基银膜。

为解决上述问题，本实用新型采用如下技术方案：

一种铬基银膜石英晶体微天平传感器，该传感器包括一个石英晶体片，所述石英晶体片表面是镀铬膜层，所述镀铬膜层表面是镀银膜层，形成一种铬基银膜石英晶体微天平传感器。

一种铬基银膜石英晶体微天平传感器，该传感器包括一个石英晶体片，所述石英晶体片表面是镀铬膜层，所述镀铬膜层表面是镀银膜层，形成一种铬基银膜石英晶体微天平传感器。

值得注意的是，采用真空镀膜和掩膜版技术，容易控制金属镀膜厚度和大小。本实用新型所述的铬基银膜石英晶体微天平传感器，镀铬膜层厚度为1 ~ 50 nm，镀银膜层厚度为20 ~ 400 nm，石英晶体片为AT切型石英晶体，其基频为4 ~ 50 MHz。由于基底材料是金属铬，能增强电极材料与石英晶体片之间的附着力，强度和抗腐蚀性能好，所制备的银膜石英晶体微天平传感器化学性质稳定，频率稳定度高。

本实用新型的有益效果是，所述铬基银膜石英晶体微天平传感器具有制作简单、使用方便、价格低廉、抗腐蚀性和稳定性好等优点。

图1是铬基银膜石英晶体微天平传感器的剖面示意图。

图1中，1. 石英晶体片，2. 镀铬膜层，3. 镀银膜层。

下面结合附图对本实用新型发明作进一步的说明：

如图1所示，一种铬基银膜石英晶体微天平传感器，该传感器包括一个AT切型、基频为8.0 MHz的石英晶体片1，利用真空镀膜技术在所述石英晶体片1表面镀20 nm厚度的铬膜层2；在所述镀铬膜层2表面镀180 nm厚度的银膜层，形成一种铬基银膜石英晶体微天平传感器。由于基底材料是金属铬，强度和抗腐蚀性能好，银膜价格低，化学性质稳定，频率稳定度高，可广泛应用。