[实用新型]一种紫外光源均光装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及紫外-真空紫外辐射量计量测试领域，具体的讲是一种紫外光源均光装置。

背景技术

随着我国探月计划及其它太空计划的开展，紫外载荷及设备的应用越来越广，作用也日益重要，同时，国内在导弹技术研究中正开展包括紫外制导的双模复合制导研究。在这些紫外领域开展的研究工作中，需要用到各类紫外设备及部件，包括光源、探测器、真空紫外光谱仪、臭氧垂直探测用真空紫外光谱辐射计、紫外成像器、紫外临边成像仪等，这些设备及其部件都需要进行计量测试及校准，以准确掌握这些设备及部件的特性，同时完成量值传递，为这些设备及组件的应用提供技术基础支撑。

在紫外-真空紫外光谱辐照度计量、测试及校准过程中，为了保证计量、测试及校准的准确性，必须对光源发出的光辐射进行均匀化，均匀光辐射的水平在很大程度上决定了计量、测试及校准的精度。因此，光源匀光技术是紫外-真空紫外光谱辐照度计量系统中的一项关键技术。

在紫外-真空紫外光谱辐照度计量测试系统中，光源匀光采用漫射器，其主要作用为校正光源空间辐射方向性差异，以便精确测量出光源在某一距离处的辐照度。在传统的光谱辐照度计量中，一般的漫射器主要有漫反射板、积分球、漫透射板等形式。对于紫外-真空紫外波段，对漫射器提出了更高的要求。一方面，即要保证余弦校正效果，另一方面又要保证光谱透射范围、透射率以及信噪比等因素。

现有技术的方法是采用积分球或漫反射板，材料选用聚四氟乙烯。但是聚四氟乙烯的反射波段范围在250nm处已经产生强烈的衰减，无法对整个紫外-真空紫外波段形成全面覆盖；如果选用铝作为反射材料，氧化后的铝只能反射到160nm波段，且反射率低。

实用新型内容

为了解决现有技术中对紫外-真空紫外波段范围的紫外光的辐射度计量中衰减和处理波段缺陷等问题，提供了一种紫外光源均光装置，可以覆盖整个紫外-真空紫外波段(110nm～400nm)对光源发出的光辐射进行均匀化，以满足该波段内光谱辐照的计量测试需求。

本实用新型实施例提供了一种紫外光源均光装置，包括：

复数个漫射器，驱动单元；

每个所述的漫射器用于对特定波段的入射紫外光进行均光和聚焦；

所述驱动单元用于根据测试的需要调节相应的漫射器位于光路中。

根据本实用新型实施例所述的一种紫外光源均光装置的一个进一步的方面，所述复数个漫射器连续覆盖在110nm-400nm的紫外-真空紫外波段。

根据本实用新型实施例所述的一种紫外光源均光装置的再一个进一步的方面，所述复数个漫射器包括3个漫射器，所述3个漫射器覆盖的波段分别为110nm～130nm、130nm～200nm和200nm～400nm。

根据本实用新型实施例所述的一种紫外光源均光装置的另一个进一步的方面，所述漫射器一面为平面的漫射面，另一面为抛光的凸面；或者所述平面为抛光面，所述凸面为漫射面；或者平面和凸面均为漫射面。

根据本实用新型实施例所述的一种紫外光源均光装置的另一个进一步的方面，所述3个漫射器中的第一漫射器工作波段为110nm～130nm，材料为氟化锂单晶，其凸面的曲率半径为81.56mm，整体厚度为4±0.1mm，通光口径为26mm，焦距数为9；

第二漫射器工作波段为130nm～200nm，材料为氟化钙单晶，其凸面的曲率半径为77.35mm，整体厚度为4±0.1mm，通光口径为26mm，F数为9；

第三漫射器工作波段为200nm～400nm，材料为氟化钙单晶，其凸面的曲率半径为168.31mm，整体厚度为6±0.1mm，通光口径为64mm，F数为9。

通过本实用新型实施例，由于采用了工作于110nm-400nm紫外光波段范围的复数个漫射镜均光和聚焦，保证了以点光源或面光源作为紫外光源时的光谱辐照度校准既可以产生很好的余弦校正效应，又能保证系统的信噪比。

附图说明

结合以下附图阅读对实施例的详细描述，本实用新型的上述特征和优点，以及额外的特征和优点，将会更加清楚。

图1给出了根据本实用新型的一个实施例一种紫外光源均光装置的结构示意图；

图2所示为本实用新型实施例第一漫射器的结构示意图；

图3所示为本实用新型实施例第二漫射器的结构示意图；

图4所示为本实用新型实施例第三漫射器的结构示意图；

图5所示为本实用新型实施例对点光源进行光谱辐照度校准时的系统结构图；

图6所示为本实用新型实施例对面光源进行光谱辐照度校准时的系统结构图。

具体实施方式