[实用新型]用于雾化电浆前趋物的阵列式雾化装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种雾化装置，特别是涉及一种用来雾化电浆的前趋物的阵列式雾化装置。

背景技术

以往镀膜制程中，为了将靶材中的离子轰出，需要在反应室中制造电浆，而产生电浆的前趋物有的是气体形式，有些是液体形式，其中液体前趋物需要经过雾化装置的雾化，才能送入反应室内。而习知用来雾化电浆前趋物的雾化装置通常包含数个独立的雾化模组，当电浆的前趋物被雾化后，再利用载气(Carrier gas)送到该反应室内，将载气通入前趋物液面下后，会将前趋物雾化为气态，最后从出气管出气。

以往雾化装置的每个独立的雾化模组虽然都可以达到雾化电浆前趋物的目的，但是在一般镀膜的制程中，雾化液滴的载气的流量、压力、液滴的温度，以及液面高度变化，都会影响镀膜沉积的品质，前述镀膜沉积的品质通常是指：镀膜的均匀度、雾度、膜厚、水滴接触角、沉积附着力等等。而以往雾化装置的各个独立的雾化模组很难维持相同的液面高度，故对于镀膜沉积的品质有不良的影响。

发明内容

本实用新型的目的在于提供一种可以提高镀膜沉积品质的用于雾化电浆前趋物的阵列式雾化装置。

本实用新型的阵列式雾化装置包含一个固定座、数个安装在该固定座上的雾化模组，以及至少一个控制机构，该固定座包括一个沿着一个长度方向设置并供所述雾化模组架设的架设面，以及一连通流道。而每个雾化模组都包括一个具有一个雾化室的雾化座，所述雾化模组的雾化室与该固定座的连通流道连通，而该控制机构包括一支穿设在该固定座的连通流道内的阀杆，以及一个驱动该阀杆在一个补液位置及一个关闭位置间转换的动力源。

本实用新型所述的雾化装置，该固定座的连通流道具有数个分别与所述雾化模组的雾化室连通的孔扩段、数个分别连接在相邻的孔扩段间的孔缩段，以及数个位在相邻的孔扩段及孔缩段间的靠抵环面，而该控制机构的阀杆具有数个可分别靠抵在该连通流道的所述靠抵环面的其中之一侧边的杆扩段；当该阀杆位在该关闭位置时，该阀杆的杆扩段分别是抵靠在该连通流道的靠抵环面旁，而当该阀杆位在该补液位置时，该阀杆的杆扩段与所述靠抵环面分离。

本实用新型所述的雾化装置，该阀杆的杆扩段的长度小于该固定座的连通流道的孔扩段的长度，且该阀杆还具有数个分别位在相邻的杆扩段间的杆缩段，所述杆缩段的外径小于该固定座的连通流道的孔缩段的内径。

本实用新型所述的雾化装置，该固定座还包括两个分别位在长度方向相反侧的侧面，而该连通流道贯穿所述侧面；又该雾化装置包含两个左右设置地安装在该固定座上的控制机构。

本实用新型所述的雾化装置，所述雾化模组的雾化室都具有一个主室部，以及一个与该主室部连通的第一分叉部，该主室部具有一个邻近该固定座的连通流道的连通口。

本实用新型所述的雾化装置，所述雾化模组的雾化室还具有一个与该主室部连通的第二分叉部；而该雾化装置还包含一个连接在该固定座的连通流道及所述雾化模组的其中一个的第二分叉部间的液面观测器。

本实用新型的有益效果在于：利用在该固定座上设置该连通流道，以及在该固定座上安装该控制机构，可以在该阀杆位在该补液位置时让所述雾化模组的雾化室连通，以产生相同的液面高度，并因此提高镀膜沉积的品质。

附图说明

图1是本实用新型雾化装置的一个较佳实施例的前视剖面图；

图2是该较佳实施例的一个局部剖视放大图，图中该雾化装置的一支阀杆位在一个补液位置；

图3是该较佳实施例的一个局部立体分解图；

图4是一个类似图2的局部剖视放大图，图中该雾化装置的阀杆位在一个关闭位置。

具体实施方式

下面结合附图及实施例对本实用新型进行详细说明。

参阅图1、2、3，本实用新型阵列式雾化装置的一个较佳实施例可借由数条出气管92与一个溅镀机构(图未示)的反应室连接，并且借由至少一条补液管93补充液体，同时借由数条进气管91送入载气。该雾化装置包含：一个长条形的固定座1、数个左右间隔地安装在该固定座1上方的雾化模组2、两个左右设置地安装在该固定座1上的控制机构3，以及一个安装在该固定座1及所述雾化模组2的其中之一间的液面观测器4。