[实用新型]一种洗涤塔顶部废气处理系统有效

专利信息
申请号: 201320104278.4 申请日: 2013-03-07
公开(公告)号: CN203220847U 公开(公告)日: 2013-10-02
发明(设计)人: 韩学住;张建新;安勇;何宏荣;刘鹏;周金良;李振国 申请(专利权)人: 江西景德半导体新材料有限公司
主分类号: B01D53/78 分类号: B01D53/78;B01D53/70
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 333000 江*** 国省代码: 江西;36
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 一种 洗涤 塔顶 废气 处理 系统
【说明书】:

技术领域

本实用新型涉及多晶硅生产废气处理技术领域,特别是一种洗涤塔顶部废气处理系统。

背景技术

在多晶硅生产中,废气主要通过碱液淋洗进行处理,因废气的量和压力的不稳定,造成有少量氯硅烷气体没有进过充分反应直接从塔顶采出管道到液封槽,在此过程中塔顶采出管道容易被堵塞,造成塔顶排气不畅,洗涤塔超压。但是因塔顶管道直径大,位置高,要配合吊机才能拆卸疏通,工作量大,疏通成本高,所以不适合目前的大生产使用。

发明内容

为了解决现有技术中洗涤塔采出管道容易堵塞所存在的缺陷和问题,本实用新型提供一种结构简单、使用方便的洗涤塔顶部废气处理系统。

为解决上述技术问题本实用新型的技术方案为:一种洗涤塔顶部废气处理系统,包括洗涤塔、液封槽、碱液输送管道、洗涤塔塔顶采出管道,所述洗涤塔通过洗涤塔塔顶采出管道与液封槽相连,其特征在于:所述洗涤塔塔顶采出管道顶部设置有与碱液输送管道相连的管道。

所述管道上设置有阀门。

本实用新型的有益效果是:本实用新型通过在洗涤塔采出管道与碱液输送管道之间设置连通管道,有效的防止了洗涤塔采出管道堵塞的发生,本洗涤塔顶部废气处理系统结构简单、使用方便、改造成本低,在多晶硅行业具有广泛的应用空间。

附图说明

图1本实用新型洗涤塔顶部废气处理系统的结构示意图。

图中:1、洗涤塔,2、液封槽,3、碱液输送管道,4、洗涤塔塔顶采出管道,5、管道,6、阀门。

具体实施方式

如图1所示,一种洗涤塔顶部废气处理系统,包括洗涤塔1、液封槽2、碱液输送管道3、洗涤塔塔顶采出管道4,所述洗涤塔1通过洗涤塔塔顶采出管道4与液封槽2相连,所述洗涤塔塔顶采出管道4顶部设置有与碱液输送管道3相连的管道5,所述管道5上设置有阀门6。

本系统将洗涤塔塔顶采出管道4通过管道5与碱液输送管道3相连,若发现洗涤塔塔顶采出管道4堵塞,打开阀门6,将碱液从管道5喷射到洗涤塔塔顶采出管道4,使得堵塞物溶解,达到清除堵塞物的效果。

以上所述,仅为本实用新型较佳的具体实施方式,但本实用新型保护范围并不局限于此,根据本实用新型的技术方案及其发明构思加以等同替换或改变,都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于江西景德半导体新材料有限公司,未经江西景德半导体新材料有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201320104278.4/2.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top