[实用新型]一种洗涤塔顶部废气处理系统有效
申请号: | 201320104278.4 | 申请日: | 2013-03-07 |
公开(公告)号: | CN203220847U | 公开(公告)日: | 2013-10-02 |
发明(设计)人: | 韩学住;张建新;安勇;何宏荣;刘鹏;周金良;李振国 | 申请(专利权)人: | 江西景德半导体新材料有限公司 |
主分类号: | B01D53/78 | 分类号: | B01D53/78;B01D53/70 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 洗涤 塔顶 废气 处理 系统 | ||
技术领域
本实用新型涉及多晶硅生产废气处理技术领域,特别是一种洗涤塔顶部废气处理系统。
背景技术
在多晶硅生产中,废气主要通过碱液淋洗进行处理,因废气的量和压力的不稳定,造成有少量氯硅烷气体没有进过充分反应直接从塔顶采出管道到液封槽,在此过程中塔顶采出管道容易被堵塞,造成塔顶排气不畅,洗涤塔超压。但是因塔顶管道直径大,位置高,要配合吊机才能拆卸疏通,工作量大,疏通成本高,所以不适合目前的大生产使用。
发明内容
为了解决现有技术中洗涤塔采出管道容易堵塞所存在的缺陷和问题,本实用新型提供一种结构简单、使用方便的洗涤塔顶部废气处理系统。
为解决上述技术问题本实用新型的技术方案为:一种洗涤塔顶部废气处理系统,包括洗涤塔、液封槽、碱液输送管道、洗涤塔塔顶采出管道,所述洗涤塔通过洗涤塔塔顶采出管道与液封槽相连,其特征在于:所述洗涤塔塔顶采出管道顶部设置有与碱液输送管道相连的管道。
所述管道上设置有阀门。
本实用新型的有益效果是:本实用新型通过在洗涤塔采出管道与碱液输送管道之间设置连通管道,有效的防止了洗涤塔采出管道堵塞的发生,本洗涤塔顶部废气处理系统结构简单、使用方便、改造成本低,在多晶硅行业具有广泛的应用空间。
附图说明
图1本实用新型洗涤塔顶部废气处理系统的结构示意图。
图中:1、洗涤塔,2、液封槽,3、碱液输送管道,4、洗涤塔塔顶采出管道,5、管道,6、阀门。
具体实施方式
如图1所示,一种洗涤塔顶部废气处理系统,包括洗涤塔1、液封槽2、碱液输送管道3、洗涤塔塔顶采出管道4,所述洗涤塔1通过洗涤塔塔顶采出管道4与液封槽2相连,所述洗涤塔塔顶采出管道4顶部设置有与碱液输送管道3相连的管道5,所述管道5上设置有阀门6。
本系统将洗涤塔塔顶采出管道4通过管道5与碱液输送管道3相连,若发现洗涤塔塔顶采出管道4堵塞,打开阀门6,将碱液从管道5喷射到洗涤塔塔顶采出管道4,使得堵塞物溶解,达到清除堵塞物的效果。
以上所述,仅为本实用新型较佳的具体实施方式,但本实用新型保护范围并不局限于此,根据本实用新型的技术方案及其发明构思加以等同替换或改变,都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。
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