[实用新型]一种光阻瓶更换装置有效
| 申请号： | 201320109794.6 | 申请日： | 2013-03-11 |
| 公开（公告）号： | CN203101811U | 公开（公告）日： | 2013-07-31 |
| 发明（设计）人： | 岳力挽;邢滨 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（北京）有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所 31219 | 代理人： | 余明伟 |
| 地址： | 100176 北京市大兴*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 光阻瓶 更换 装置 | ||
一种光阻瓶更换装置，其特征在于，所述更换装置至少包括：
主架和用于辅助更换光阻瓶的抽屉式侧架；
所述主架包括主架底板、位于主架底板边缘上的主架侧壁和一个活动挡板；所述主架底板设置有空心层，所述空心层侧面具有一个入口；
所述抽屉式侧架包括侧架底板和位于侧架底板边缘上的侧架侧壁，所述侧架底板从空心层的入口推入；藉由所述抽屉式侧架将光阻瓶推到主架上。
根据权利要求1所述的光阻瓶更换装置，其特征在于：主架底板上设置有支撑所述活动挡板的支柱。
根据权利要求2所述的光阻瓶更换装置，其特征在于：所述主架底板为长方形，其三个边缘上设置为主架侧壁，另一个边缘上设置为活动挡板，其中，与所述活动挡板相邻的两个主架侧壁为主架横梁，该主架横梁固定于所述支柱和与活动挡板相对的另一主架侧壁之间。
根据权利要求1所述的光阻瓶更换装置，其特征在于：所述侧架底板为长方形，其三个边缘设置为侧架侧壁，其中两个相对的侧架侧壁为侧架横梁。
根据权利要求1所述的光阻瓶更换装置，其特征在于：所述主架底板由上底板、空心层和下底板组成，所述上底板呈U字型。
根据权利要求1所述的光阻瓶更换装置，其特征在于：所述侧架底板的表面设有凸起，所述凸起的高度与主架底板的上底板厚度相同。
根据权利要求5或6所述的光阻瓶更换装置，其特征在于：侧架推入主架后，所述侧架底板的凸起匹配卡于主架底板的U字型上底板间。
根据权利要求1所述的光阻瓶更换装置，其特征在于：所述空心层设有一个与所述入口相对应的出口。
根据权利要求8所述的光阻瓶更换装置，其特征在于：侧架推入主架后，侧架底板有一部分从主架的空心层出口露出。
根据权利要求1所述的光阻瓶更换装置，其特征在于：所述侧架底板的下表面还设有滚轮。
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