[实用新型]基板定位装置有效
| 申请号： | 201320114397.8 | 申请日： | 2013-03-13 |
| 公开（公告）号： | CN203218241U | 公开（公告）日： | 2013-09-25 |
| 发明（设计）人： | 韩进隆;王渊民 | 申请（专利权）人： | 威光自动化科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/68 | 分类号： | H01L21/68 |
| 代理公司： | 北京科龙寰宇知识产权代理有限责任公司 11139 | 代理人： | 孙皓晨 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 定位 装置 | ||
1.一种基板定位装置，其特征在于，包括：
一输送器，形成有能够逐一传递基板水平移动的一基准面；
一端边定位器，设置于输送器的端边且位于基准面下，能够由下往上伸出于基准面上，止挡于基准面移动的基板；
一侧边定位器，设置于输送器的侧边且位于基准面上，能够朝基板方向靠位移动，并接触而后导正已止挡于基准面的基板；以及
一升降器，设置于输送器内部且位于基准面下，能够通过由下往上的移动而抬举基板脱离基准面。
2.如权利要求1所述的基板定位装置，其特征在于，所述基准面是由在一平面上间隔分布的多个滚轮构成。
3.如权利要求1所述的基板定位装置，其特征在于，所述端边定位器包含一第一端边定位器及一第二端边定位器，所述于基准面上移动的基板是经由第一端边定位器止挡，第二端边定位器于基板受止挡后，能够由下往上伸出于基准面的上，并朝基板方向靠位移动而接触及导正基板。
4.如权利要求1所述的基板定位装置，其特征在于，所述侧边定位器与基板于基准面上的位移方向相互垂直。
5.如权利要求1或4所述的基板定位装置，其特征在于，所述侧边定位器包含一第一侧边定位器及一第二侧边定位器，分别设置于输送器的相对两侧，第一侧边定位器与第二侧边定位器能够经由相对移动来接触及导正基板于基准面上。
6.如权利要求1所述的基板定位装置，其特征在于，所述升降器设置有能够固定基板的多个吸附器。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
