[实用新型]一种具有加热功能的石蜡掩膜法制备SE电池的设备

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种设备，尤其是涉及一种具有加热功能的石蜡掩膜法制备SE电池的设备，属于电池制造领域。

背景技术

石蜡掩膜法制备选择性发射极（SE）电池是目前已经在生产线上实现量产的工艺，其电池片的制备步骤主要如下:1.制绒硅片形成光陷阱表面；2.在绒面上扩散掺杂形成PN结；3.在扩散面打印上起掩蔽作用的石蜡掩膜；4.化学液去除硅片周边和背面多余的PN结；5.石蜡掩蔽下用化学液对硅片表面进行刻蚀；6.石蜡掩膜的去除；7.磷硅玻璃的去除；8.镀氮化硅膜；9.印刷背面电极和背场；10.石蜡掩膜对应位置处印刷银电极。整个工艺过程的关键步骤就是打印石蜡掩膜, 石蜡掩蔽下用化学液对硅片表面进行刻蚀和掩膜位置处印刷银电极。

在打印石蜡掩膜工艺步骤中，首先设备将石蜡原料加热至其熔点以上温度，使其融化成液态，液体石蜡在气压作用下从高温管道流向高温印刷喷头，电脑控制高温印刷喷头在硅片表面打印上设定的石蜡掩膜图形。打印时液体石蜡在气压作用下从高温印刷喷头上分布的小孔中成点状喷洒在指定位置，室温下液态石蜡迅速的凝固附着在硅片表面，由于石蜡凝固的速度非常迅速，在还未完整铺展的情况下已经凝固成型，这导致硅片表面的石蜡掩膜图形致密度较差，在进行SE电池制备第5步骤：石蜡掩蔽下用化学液对硅片表面进行刻蚀时，石蜡掩膜保护层下方的PN结受到轻微腐蚀，导致该处方块电阻偏高，最终影响成品电池片的欧姆接触，降低电池片转换效率。针对石蜡掩膜致密性较差的问题，现在有两种解决方案：1.升高喷头温度，这样可以延长石蜡凝固时间，增加其铺展程度，提高石蜡掩膜致密性；2. 提高石蜡掩膜打印分辨率，这样可以增加打印时石蜡喷洒点的数量，提高石蜡掩膜致密性。采用方案1升高喷头温度，虽然能够改善石蜡掩膜致密性，但是当提高喷头温度后，石蜡掩膜打印时液体石蜡在从高温印刷喷头上分布的小孔中喷洒时出现溅射现象，导致设备打印精度下降；采用方案2提高石蜡掩膜打印分辨率，虽然能在不引入其他问题的基础上改善石蜡掩膜致密性，但是当分辨率提高后，石蜡耗量增加，提高了生产成本。

实用新型内容

本实用新型克服了现有制备SE电池的设备导致的蜡掩膜致密性较差的问题，设计了一种具有加热功能的石蜡掩膜法制备SE电池的设备，该设备能够解决蜡掩膜致密性较差的问题。

本实用新型的目的通过下述技术方案实现：一种具有加热功能的石蜡掩膜法制备SE电池的设备，包括印刷台面主体，所述印刷台面主体的两端分别设置有上料台和下料台，且上料台和下料台同时与印刷台面主体接触，所述印刷台面主体或上料台或下料台上设置有加热器。

在上述技术方案中，通过设置加热器，使得在石蜡掩蔽下用化学液对硅片表面进行刻蚀时，加热器进行加热，石蜡凝固的速度减缓，硅片表面的石蜡掩膜图形致密度提高，石蜡掩膜保护层下方的PN结不会受到腐蚀，该处方块电阻正常，改善成品电池片的欧姆接触，保证了电池片转换效率。

进一步地，所述加热器固定在印刷台面主体或上料台或下料台上。加热器固定，使得工作时的稳定性更好。

进一步地，加热器优选为红外线加热器。红外线的传热形式是辐射传热，由电磁波传递能量。在远红外线照射到被加热的物体时，一部分射线被反射回来，一部分被穿透过去。当发射的远红外线波长和被加热物体的吸收波长一致时，被加热的物体吸收远红外线，这时，物体内部分子和原子发生“共振”——产生强烈的振动、旋转，而振动和旋转使物体温度升高，达到了加热的目的。

进一步地，加热器优选为加热滚轮或加热传送带。加热滚轮或加热传送带都是采用热传递方式进行加热，使得加热更加均匀。

综上所述，本实用新型的有益效果是：

（1）改善石蜡掩膜的致密性，避免了石蜡掩膜保护层下方的PN结受到轻微腐蚀，最终改善成品电池片的欧姆接触，提高电池片转换效率；

（2）石蜡掩膜致密性改善后，可以进一步降低高温印刷喷头温度，提高印刷精确度，延长喷头使用寿命；

（3）石蜡掩膜致密性改善后，可以进一步降低石蜡掩膜打印图形分辨率，从而降低石蜡耗量，节省生产成本。

附图说明

图1是实施例1的结构示意图；

图2是实施例2的结构示意图；

图3是实施例3的结构示意图。

附图中标记及相应的零部件名称：1—上料台；2—印刷台面主体；3—下料台；4—加热器。

具体实施方式

下面结合实施例及附图，对本实用新型作进一步的详细说明，但本实用新型的实施方式不仅限于此。

实施例1：